检测被检测物的孔的光学检测装置

    公开(公告)号:CN100356165C

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN99817002.X

    申请日:1999-11-11

    CPC classification number: G01N21/8806

    Abstract: 提供一种检测被检测物(11)的孔部的光学检测装置(1),它具有:从线状或者面状地存在的发光点(41a)出射照射光从而照射被检测物的光源(41),配置在上述光源的相反侧以便夹住被检测物,并具有入射从上述光源出射的照射光中通过被检测物的孔部的照射光的入射面(61A)以及出射伴随照射光的入射产生的荧光的检测面(61B)的荧光构件(61),检测从上述荧光构件的检测面出射的荧光的光检测器(71)。

    光学检测装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1378647A

    公开(公告)日:2002-11-06

    申请号:CN99817002.X

    申请日:1999-11-11

    CPC classification number: G01N21/8806

    Abstract: 提供一种检测被检测物(11)的孔部的光学检测装置(1),它具有:从线状或者面状地存在的发光点(41a)出射照射光从而照射被检测物的光源(41),配置在上述光源的相反侧以便夹住被检测物,并具有入射从上述光源出射的照射光中通过被检测物的孔部的照射光的入射面(61A)以及出射伴随照射光的入射产生的荧光的检测面(61B)的荧光构件(61),检测从上述荧光构件的检测面出射的荧光的光检测器(71)。

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