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公开(公告)号：CN104285270A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201380024680.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H05G1/52 , H01J35/08 , H01J35/14 , H01J35/30 , H01J2235/081 , H01J2235/087
Abstract: 本发明的X射线产生装置(1)具备：电子枪部(3)，其射出电子束(EB)；靶部(T)，具有由钻石所构成的基板(21)、及由通过电子束(EB)的入射而产生X射线(XR)的材料所构成且紧贴地埋设于基板(21)的靶体(23)。靶体(23)的外径是0.05～1μm的范围。电子束(EB)的靶部(T)上的照射域的外径为靶体(23)的外径的1.1～2.5倍的范围。X射线产生装置(1)以靶体(23)包含于照射域的方式将电子束(EB)照射于靶体(23)，由此从靶体(23)产生X射线(XR)。由此，通过电子束入射于靶部中的靶体以外的部分而产生的X射线成分被抑制为对空间分辨率不产生影响的程度，因此，能够提供抑制了空间分辨率的降低的X射线产生装置。
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公开(公告)号：CN117716463A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202280045947.7
申请日：2022-02-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种X射线产生装置，具备：壳体；电子枪，其具有在上述壳体内出射电子的电子出射部、及用于引出自上述电子出射部出射的上述电子的引出电极；靶，其在上述壳体内通过上述电子的入射而产生X射线；窗构件，其将上述壳体的开口密封，且使上述X射线透过；及管电压施加部，其对上述电子出射部与上述靶之间施加管电压；上述靶的厚度具有分布，上述靶配置成，相对于与上述电子枪的轴线正交的假想面倾斜，且相较于施加于上述引出电极的引出电压相对高时的上述电子的入射位置，在上述引出电压相对低时的上述电子的入射位置上，该靶的厚度变薄。
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公开(公告)号：CN115380350A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202180024397.6
申请日：2021-02-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J35/14
Abstract: 本发明的X射线产生装置具备：电子枪，其出射具有圆形状的截面形状的电子束；磁聚焦透镜，其配置于较电子枪靠后段，一边使电子束绕沿着第1方向的轴旋转一边使电子束聚焦；磁四极透镜，其配5置于较磁聚焦透镜靠后段，使电子束的截面形状变形为具有沿着与第1方向正交的第2方向的长径、及沿着与第1方向及第2方向正交的第3方向的短径的椭圆形状；及靶，其配置于较磁四极透镜靠后段，根据电子束入射而放出X射线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115362524A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202180026118.X
申请日：2021-01-12
IPC: H01J35/10
Abstract: 旋转阳极单元具备：靶，其由第1金属材料形成；及靶支撑体，其由第2金属材料形成为平板状，且具有第1及第2表面。第2金属材料的热传导率较第1金属材料的热传导率高。在靶支撑体的外侧部分中的第1表面形成有第1凹部。靶配置于第1凹部。在靶支撑体的内侧部分中的第2表面，形成有以划定用于流通冷媒的流路的方式构成的第2凹部。形成有第1凹部的第1区域的厚度较形成有第2凹部的第2区域的厚度厚。
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公开(公告)号：CN115516596B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202180024904.6
申请日：2021-01-12
Abstract: 本发明的X射线产生装置具备：电子枪，其出射电子束；旋转阳极单元，其具有接收电子束而产生X射线的靶，且以使靶旋转的方式构成；磁透镜，其具有线圈，该线圈以在电子枪与靶之间产生作用于电子束的磁力的方式构成；及壁部，其以面向靶的方式配置于靶与线圈之间。在壁部形成有：电子束通过的电子通过孔、及以冷媒流动的方式构成的流路。
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公开(公告)号：CN115362524B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202180026118.X
申请日：2021-01-12
IPC: H01J35/10
Abstract: 旋转阳极单元具备：靶，其由第1金属材料形成；及靶支撑体，其由第2金属材料形成为平板状，且具有第1及第2表面。第2金属材料的热传导率较第1金属材料的热传导率高。在靶支撑体的外侧部分中的第1表面形成有第1凹部。靶配置于第1凹部。在靶支撑体的内侧部分中的第2表面，形成有以划定用于流通冷媒的流路的方式构成的第2凹部。形成有第1凹部的第1区域的厚度较形成有第2凹部的第2区域的厚度厚。
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公开(公告)号：CN117597759A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202280045962.1
申请日：2022-02-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种X射线产生装置，具备：壳体；电子枪，其具有在上述壳体内出射电子的电子出射部；靶，其在上述壳体内通过入射上述电子而产生X射线；窗构件，其将上述壳体的开口密封，且使上述X射线透过；管电压施加部，其对上述电子出射部与上述靶之间施加管电压；及磁场形成部，其用于通过在上述电子出射部与上述靶之间形成磁场，而使上述电子偏向；上述靶的厚度具有分布，上述靶以相较于上述管电压相对高时，在上述管电压相对低时上述电子在该靶的厚度上入射至相对薄的部分的方式配置。
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公开(公告)号：CN115335948A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202180024398.0
申请日：2021-02-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的电子束产生器的电子枪具备：阴极，其具有出射电子束的前端部；第1电极，其容纳包含阴极的前端部的部分；及第2电极，其在自沿着电子束的出射轴的方向观察时包围着第1电极。第1电极具有绕出射轴包围包含前端部的部分的第1侧壁。第2电极具有与第1侧壁分开且包围第1侧壁的第2侧壁。在第1侧壁设置有第1开口部，该第1开口部使由第1侧壁包围的第1空间、和第1侧壁与第2侧壁之间的第2空间连通。在第2电极设置有第2开口部，该第2开口部以使第2空间与外部空间连通的方式，朝沿着出射轴的方向开口。
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