电光装置和电子设备
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115079474A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210241967.3

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备:在以与槽重叠的方式形成电容元件的情况下,在减小了槽的开口边缘与电容元件的端部的宽度尺寸的间隙的时也能够适当地设置电容元件。在电光装置的第1基板(10)中,具有设置有槽的基板主体、在包含所述槽的区域中层叠于所述基板主体的绝缘膜、以及层叠于所述绝缘膜的层叠膜,所述层叠膜隔着所述绝缘膜沿着所述槽的侧面和底面设置。

    电光装置和电子设备
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115079475B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202210241969.2

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备:在利用在彼此交叉的方向上延伸的槽来增大电容元件的静电电容的情况下也够容易地填埋由于槽而引起的凹部。在电光装置的基板主体(19)形成有第1槽(191)和在与第1槽(191)交叉的方向上延伸的第2槽(192、193)。电容元件(55)由层叠膜(550)构成,层叠膜(550)包含在包含第1槽(191)和第2槽(192、193)的区域中依次层叠的第1导电膜(4a)、电介质膜和第2导电膜(5a)。在第1槽(191)和第2槽(192、193)交叉时,在蚀刻时,交叉部的宽度较宽,但在第1槽(191)和第2槽(192、193)分离等不交叉的情况下,不易产生宽度较宽的部分。因此,容易通过第1绝缘膜(41)填埋槽。

    电光装置和电子设备
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115079474B

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202210241967.3

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备:在以与槽重叠的方式形成电容元件的情况下,在减小了槽的开口边缘与电容元件的端部的宽度尺寸的间隙的时也能够适当地设置电容元件。在电光装置的第1基板(10)中,具有设置有槽的基板主体、在包含所述槽的区域中层叠于所述基板主体的绝缘膜、以及层叠于所述绝缘膜的层叠膜,所述层叠膜隔着所述绝缘膜沿着所述槽的侧面和底面设置。

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