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公开(公告)号：CN101195193A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710305200.8
申请日：2007-10-08
Applicant: 索尼株式会社
IPC: B23K26/40 , C23C16/00 , H01L21/768
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/45517 , C23C16/45519 , Y10T428/31
Abstract: 本发明公开了一种激光加工设备及方法、布线基板及其和显示设备的制造方法。该加工设备包括支撑台，局部排气装置和激光光源单元。该支撑台支撑加工物体。该局部排气装置引导激光进入局部排气单元，在该局部排气单元中局部调节该支撑台上的压力。该激光光源单元输出该激光。该局部排气装置能够通过注射提升用气体到支撑台被相对地从支撑台提升。该加工物体包括由不同材料的两层或多层形成的多层膜。输入单元连接到激光光源单元，其中加工物体的反射率输入到该输入单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1847921A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200610082072.0
申请日：2006-04-12
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: B23K26/03 , B23K26/066 , B23K26/073 , B23K2101/40 , G02B27/0933 , G02B27/095
Abstract: 一种光学器件，该装置包括：具有第一主表面和第二主表面的光学部件，所述两个表面分别用作从定向光源发出的光的入射表面和出射表面，该部件由折射率大于1的材料制成；以及支承部件，该部件至少包括用于所述光学部件的摆动装置，其中在该支承部件作用下可摆动的该光学部件的第一和第二主表面能够相对于从定向光源发出的光的光路倾斜。
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公开(公告)号：CN101195193B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200710305200.8
申请日：2007-10-08
Applicant: 索尼株式会社
IPC: B23K26/40 , C23C16/00 , H01L21/768
CPC classification number: C23C16/483 , C23C16/45517 , C23C16/45519 , Y10T428/31
Abstract: 本发明公开了一种激光加工设备及方法、布线基板及其和显示设备的制造方法。该加工设备包括支撑台，局部排气装置和激光光源单元。该支撑台支撑加工物体。该局部排气装置引导激光进入局部排气单元，在该局部排气单元中局部调节该支撑台上的压力。该激光光源单元输出该激光。该局部排气装置能够通过注射提升用气体到支撑台被相对地从支撑台提升。该加工物体包括由不同材料的两层或多层形成的多层膜。输入单元连接到激光光源单元，其中加工物体的反射率输入到该输入单元。
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公开(公告)号：CN101286468B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200810089668.2
申请日：2008-04-11
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L21/66 , H01L21/84 , G02F1/13 , G02F1/1362
CPC classification number: H01L27/3276 , G02F2001/136263 , H01L2251/568
Abstract: 本发明公开了由多个配线图案在基体上形成的基板的制造方法、基板制造系统以及显示器的制造方法，其中，该基板制造方法包括：第一检查步骤，通过分别对于多个配线图案执行电气检查来识别具有电气短路或断路的不良配线图案；第二检查步骤，通过光学检查检验基体上的缺陷的相对位置和缺陷的类型和尺寸中的至少一个；匹配部，将第一检查步骤的结果与第二检查步骤的结果进行匹配，并识别具有电气短路或断路的致命缺陷；以及第三检查步骤，通过光学检查检验致命缺陷在像素中的相对位置和有效范围。通过本发明，可以显著提高配线图案的致命缺陷的位置识别的成功率，以及可以减少配线图案的缺陷修复的生产时间。
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公开(公告)号：CN100443951C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200610082072.0
申请日：2006-04-12
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: B23K26/03 , B23K26/066 , B23K26/073 , B23K2101/40 , G02B27/0933 , G02B27/095
Abstract: 一种光学器件，该装置包括：具有第一主表面和第二主表面的光学部件，所述两个表面分别用作从定向光源发出的光的入射表面和出射表面，该部件由折射率大于1的材料制成；以及支承部件，该部件至少包括用于所述光学部件的摆动装置，其中在该支承部件作用下可摆动的该光学部件的第一和第二主表面能够相对于从定向光源发出的光的光路倾斜。
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公开(公告)号：CN101286468A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810089668.2
申请日：2008-04-11
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L21/66 , H01L21/84 , G02F1/13 , G02F1/1362
CPC classification number: H01L27/3276 , G02F2001/136263 , H01L2251/568
Abstract: 本发明公开了由多个配线图案在基体上形成的基板的制造方法、基板制造系统以及显示的制造方法，其中，该基板制造方法包括：第一检查步骤，通过分别对于多个配线图案执行电气检查来识别具有电气短路或断路的不良配线图案；第二检查步骤，通过光学检查检验基体上的缺陷的相对位置和缺陷的类型和尺寸中的至少一个；匹配部，将第一检查步骤的结果与第二检查步骤的结果进行匹配，并识别具有电气短路或断路的致命缺陷；以及第三检查步骤，通过光学检查检验致命缺陷在像素中的相对位置和有效范围。通过本发明，可以显著提高配线图案的致命缺陷的位置识别的成功率，以及可以减少配线图案的缺陷修复的生产时间。
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