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公开(公告)号：CN1177950C
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN98811312.0
申请日：1998-11-19
Applicant: 联合莫古尔威斯巴登有限公司
IPC: C23C14/56
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/022 , C23C14/568 , F16C33/14
Abstract: 不同形状基体真空镀膜用的现有装置，在连续作业或分批作业的设备中，都是按下述方式配置的，即按一种镀膜工艺涂敷几层涂层。滑动轴承要涂敷几层涂层，所用的镀膜物质和与此有关的条件要求采用多项镀膜技术。这特别涉及一些输送参数。现有的设备不能满足这些要求。按本发明的这样一种装置包含几个连成一条线的处理室。采用形锁合和力锁合的配合方式一起保持在温度调节的支承体上的滑动轴承被移动通过上述的室，包括预处理室、溅射室、蒸发室，为此采用一种与此工艺相适配的输送系统。支承体用的温度调节装置连接在镀膜行程的上游。相应的输入和输出通道使得从大气到大气的输送成为可能。
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公开(公告)号：CN1279728A
公开(公告)日：2001-01-10
申请号：CN98811312.0
申请日：1998-11-19
Applicant: 联合莫古尔威斯巴登有限公司
IPC: C23C14/56
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/022 , C23C14/568 , F16C33/14
Abstract: 不同形状基体真空镀膜用的现有装置,在连续作业或分批作业的设备中,都是按下述方式配置的,即按一种镀膜工艺涂敷几层涂层。滑动抽承要涂敷几层涂层,所用的镀膜物质和与此有关的条件要求采用多项镀膜技术。这特别涉及一些输送参数。现有的设备不能满足这些要求。按本发明的这样一种装置包含几个连成一条线的处理室。采用形锁合和力锁合的配合方式一起保持在温度调节的支承体上的滑动轴承被移动通过上述的室,包括预处理室、溅射室、蒸发室,为此采用一种与此工艺相适配的输送系统。支承体用的温度调节装置连接在镀膜行程的上游。相应的输入和输出通道使得从大气到大气的输送成为可能。
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