基片倒棱加工装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1148357A

    公开(公告)日:1997-04-23

    申请号:CN96190164.0

    申请日:1996-02-20

    Inventor: 柴田学

    CPC classification number: B24B9/065 B23Q15/02 G05B2219/45162

    Abstract: 本发明的在基片的外径端面、内径端面上磨削加工倒棱的基片内外径、倒棱加工装置,具有:用所带砂轮在基片内径端面、外径端面上加工倒棱的内外径、倒棱加工机11;依次测定用该加工机11加工的基片倒棱长度的测定装置12;从由该测定装置的测定结果算出砂轮进给量的修正量的测定处理装置13;以及控制内外径、倒棱加工机的动作,根据来自测定处理装置的修正量来改变砂轮进给量的控制装置14;可不用人工而经常维持合适的基片倒棱长度。

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