一种用于半导体抛光液制作的成套设备

    公开(公告)号:CN206837999U

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201720471477.7

    申请日:2017-05-01

    Applicant: 衢州学院

    Abstract: 本实用新型提供了一种用于半导体抛光液制作的成套设备,属于抛光技术领域。本用于半导体抛光液制作的成套设备,包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱,搅拌箱上固定有搅拌电机,搅拌电机连接有搅拌轴,搅拌轴固定有安装环一和安装环二,安装环一固定有搅拌组件一,安装环二固定有搅拌组件二;搅拌箱连通有连接管一,连接管一与超声波粉碎仪相连通,连接管一上设置有液泵一,超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通,连接管二上连通有循环管,循环管与搅拌箱相连通,循环管上设置有液泵二和阀门一,连接管二上设有阀门二,成品收集箱上连通有出液管。本实用新型在半导体抛光液制作过程中具有能够进行搅拌、粉碎和循环处理的优点。

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