利用MEMS技术的促动系统
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107035526B

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201611234085.5

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 一种利用MEMS技术的促动系统。一种促动器(402),其包括泵(705),该泵(705)包括第一腔(708)以及与第一腔流动连通联接的隔膜(704)。隔膜构造成使容纳在第一腔中的流体加压。泵还包括与第一腔流动连通联接的第一阀(706)。第一阀构造成在第一腔加压时将流体从第一腔释放。促动器还包括操作性地联接于泵的活塞组件(712,713)。

    利用MEMS技术的促动系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107035526A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201611234085.5

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 一种利用MEMS技术的促动系统。一种促动器(402),其包括泵(705),该泵(705)包括第一腔(708)以及与第一腔流动连通联接的隔膜(704)。隔膜构造成使容纳在第一腔中的流体加压。泵还包括与第一腔流动连通联接的第一阀(706)。第一阀构造成在第一腔加压时将流体从第一腔释放。促动器还包括操作性地联接于泵的活塞组件(712,713)。

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