带层叠膜的透明基板
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111886212B

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN201880083416.0

    申请日:2018-12-25

    Abstract: 本发明提供即便具有含有氮化钛等特定的金属氮化物的功能层隔热性也足够高的带层叠膜的透明基板。一种带层叠膜的透明基板(10),其具有透明基板(12)和设置于透明基板(12)的至少一个表面的层叠膜(14),层叠膜(14)从透明基板(12)侧起依次具有第1电介质层(22)、结晶度提高层(24)、功能层(26)和第2电介质层(28),结晶度提高层(24)含有ZrNx(其中,x大于1.2且为2.0以下),功能层(26)含有选自氮化钛、氮化铬、氮化铌、氮化钼和氮化铪中的1种以上的金属氮化物,结晶度提高层(24)与功能层(26)的边界处的氧原子浓度为20原子%以下。

    带层叠膜的透明基板
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111886212A

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201880083416.0

    申请日:2018-12-25

    Abstract: 本发明提供即便具有含有氮化钛等特定的金属氮化物的功能层隔热性也足够高的带层叠膜的透明基板。一种带层叠膜的透明基板(10),其具有透明基板(12)和设置于透明基板(12)的至少一个表面的层叠膜(14),层叠膜(14)从透明基板(12)侧起依次具有第1电介质层(22)、结晶度提高层(24)、功能层(26)和第2电介质层(28),结晶度提高层(24)含有ZrNx(其中,x大于1.2且为2.0以下),功能层(26)含有选自氮化钛、氮化铬、氮化铌、氮化钼和氮化铪中的1种以上的金属氮化物,结晶度提高层(24)与功能层(26)的边界处的氧原子浓度为20原子%以下。

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