公开(公告)号：CN113446407B

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202110324757.6

申请日：2021-03-26

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 铃木优子 ,  西川桂一

IPC: F16K1/22 ,  F16K31/04 ,  F16K37/00 ,  G01H17/00

Abstract: 本发明涉及蝶阀。提供了能够在抑制成本增加的同时准确地检测电动机处发生的异常振动的蝶阀。蝶阀(1)配设在具备压力传感器(35)的真空室(32)与真空泵(33)之间的配管(34)上，并且进行真空室(32)的压力控制，蝶阀(1)具备：伺服电动机(11)；蝶阀体(9)，其以连接于伺服电动机(11)的连杆(10)为中心沿开方向或者闭方向旋转；以及控制部(13)，其基于压力传感器(35)检测得到的真空室(32)的压力值来调整蝶阀体(132a)，其至少在真空室(32)的压力值稳定的情况下基于在监视时间M1至M6内的蝶阀体(9)的开度的变动量来判断伺服电动机(11)处是否发生异常振动。(9)的开度。控制部(13)具备异常振动检测程序

公开(公告)号：CN119234303A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202380036419.X

申请日：2023-03-31

Applicant: CKD株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 铃木优子 ,  西川桂一 ,  吉田尚史 ,  吉村启佑 ,  片桐卓哉 ,  村上良

IPC: H01L21/683 ,  G05D23/19 ,  H01L21/3065

Abstract: 在循环后调温用流体的现在温度比第二温度T12更低的情况下，直到前述现在温度上升至比第二温度T12更低的既定的阈值(第三温度T13)为止，藉由指示比第二温度T12更高的温度(第四温度T14)的第一温度控制值C11，调整调温用流体的温度，以及，直到前述现在温度上升至阈值(第三温度T13)为止时，藉由指示与第二温度T12同样的温度的第二温度控制值C12，调整调温用流体的温度。

公开(公告)号：CN113446407A

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN202110324757.6

申请日：2021-03-26

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 铃木优子 ,  西川桂一

IPC: F16K1/22 ,  F16K31/04 ,  F16K37/00 ,  G01H17/00

Abstract: 本发明涉及蝶阀。提供了能够在抑制成本增加的同时准确地检测电动机处发生的异常振动的蝶阀。蝶阀(1)配设在具备压力传感器(35)的真空室(32)与真空泵(33)之间的配管(34)上，并且进行真空室(32)的压力控制，蝶阀(1)具备：伺服电动机(11)；蝶阀体(9)，其以连接于伺服电动机(11)的连杆(10)为中心沿开方向或者闭方向旋转；以及控制部(13)，其基于压力传感器(35)检测得到的真空室(32)的压力值来调整蝶阀体(9)的开度。控制部(13)具备异常振动检测程序(132a)，其至少在真空室(32)的压力值稳定的情况下基于在监视时间M1至M6内的蝶阀体(9)的开度的变动量来判断伺服电动机(11)处是否发生异常振动。