分散板和包括该分散板的涂布装置

    公开(公告)号:CN111565856B

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN201980007640.6

    申请日:2019-08-22

    Abstract: 本发明涉及一种分散板和包括该分散板的涂布装置。本发明提供的分散板包括:多个气体注入孔,所述多个气体注入孔位于所述分散板中,使得通过所述气体注入孔的密集分组而形成多个喷动喷嘴,其中,所述多个喷动喷嘴中的一个设置在所述分散板的中心,并且沿着从所述分散板的中心到所述分散板的周缘分布的多个虚拟同心圆布置所述多个喷动喷嘴中的其他喷动喷嘴,其中,对于所述虚拟同心圆中的两个相邻虚拟同心圆,沿外同心圆布置的喷动喷嘴的数量是沿内同心圆布置的喷动喷嘴的数量的两倍,并且沿外同心圆布置的喷动喷嘴的布置间隔是沿内同心圆布置的喷动喷嘴的布置间隔的一半。

    分散板和包括该分散板的涂布装置

    公开(公告)号:CN111565856A

    公开(公告)日:2020-08-21

    申请号:CN201980007640.6

    申请日:2019-08-22

    Abstract: 本发明涉及一种分散板和包括该分散板的涂布装置。本发明提供的分散板包括:多个气体注入孔,所述多个气体注入孔位于所述分散板中,使得通过所述气体注入孔的密集分组而形成多个喷动喷嘴,其中,所述多个喷动喷嘴中的一个设置在所述分散板的中心,并且沿着从所述分散板的中心到所述分散板的周缘分布的多个虚拟同心圆布置所述多个喷动喷嘴中的其他喷动喷嘴,其中,对于所述虚拟同心圆中的两个相邻虚拟同心圆,沿外同心圆布置的喷动喷嘴的数量是沿内同心圆布置的喷动喷嘴的数量的两倍,并且沿外同心圆布置的喷动喷嘴的布置间隔是沿内同心圆布置的喷动喷嘴的布置间隔的一半。

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