公开(公告)号：CN101713463B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN200910174147.1

申请日：2009-09-30

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 樱井丰信 ,  神坂育男

IPC: F16K1/00 ,  F16K27/02 ,  F16K41/00 ,  F16K31/124

Abstract: 本发明提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座。其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。

公开(公告)号：CN1343848A

公开(公告)日：2002-04-10

申请号：CN01132926.2

申请日：2001-09-11

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 石垣恒雄 ,  樱井丰信 ,  圆崎明

IPC: F16K51/02

CPC classification number: F16K51/02 ,  F16K27/029

Abstract: 一种开/关阀具有可拆卸地连接阀体(12)和阀盖(14)的装/拆机构(16)。该装/拆机构(16)包括在阀体(12)的连接凹口(54)上的第一环形槽(56),在阀盖(14)的连接凸头(58)上的第二环形槽(60)和一个弹性半环形件(62)。该弹性半环形件(62)在阀体(12)和阀盖(14)互相连接时分别装到第一环形槽(56)和第二环形槽(60)中。

公开(公告)号：CN101713463A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910174147.1

申请日：2009-09-30

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 樱井丰信 ,  神坂育男

IPC: F16K1/00 ,  F16K27/02 ,  F16K41/00 ,  F16K31/124

Abstract: 本发明提供一种高真空阀，其包括：阀体部，在第一阀口和第二阀口之间的流路上设置阀座，并具有可相对该阀座接合或分离的开闭件；阀驱动部，由先导流体的压力驱动的推杆将与所述阀座面对的流路壁贯穿并插入流路中，所述阀驱动部驱动连结在所述推杆顶端的开闭件来开闭阀座。其中，在贯通孔内设置有润滑脂槽，在所述润滑脂槽的流路一侧设置用来保留润滑脂的密封部件，而在所述润滑脂槽的相反一侧设置用来真空密封的密封部件，由此构成轴封，使所述润滑脂槽的轴向长度与上述开闭件的最大行程相同或大于该最大行程。