公开(公告)号：CN1661762A

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN200510008459.7

申请日：2005-02-21

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 伊东克己 ,  前川和也 ,  武内悦雄 ,  矢岛信男 ,  佐藤顺一

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/30 ,  H01J27/02

CPC classification number: G21K5/10 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/3151

Abstract: 设置在离子束辐照装置的栅格之间的绝缘隔离物的替换频率将被减小。另外，在离子束辐照装置中的多个栅格的间隔将被保持恒定。为了得到这些目的，在用于保持栅格之间绝缘的所谓绝缘隔离物中，在绝缘隔离物的侧面的中心部分上沿着其整个周围提供具有溅射材料很难附着的底部的沟槽部分。

公开(公告)号：CN100421206C

公开(公告)日：2008-09-24

申请号：CN200510008459.7

申请日：2005-02-21

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 伊东克己 ,  前川和也 ,  武内悦雄 ,  矢岛信男 ,  佐藤顺一

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/30 ,  H01J27/02

CPC classification number: G21K5/10 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/3151

Abstract: 设置在离子束辐照装置的栅格之间的绝缘隔离物的替换频率将被减小。另外，在离子束辐照装置中的多个栅格的间隔将被保持恒定。为了得到这些目的，在用于保持栅格之间绝缘的所谓绝缘隔离物中，在绝缘隔离物的侧面的中心部分上沿着其整个周围提供具有溅射材料很难附着的底部的沟槽部分。