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公开(公告)号：CN103956311B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410210102.6
申请日：2014-05-16
Applicant: 厦门大学
Inventor： 何坚
Abstract: 带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。
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公开(公告)号：CN115295376A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210999141.3
申请日：2022-08-19
Applicant: 中国科学院空间应用工程与技术中心
Abstract: 本发明提供一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，包括：ECR等离子体源、电子束引出模块和电子光学模块；按自上向下方向，依次同轴设置ECR等离子体源、电子束引出模块和电子光学模块；ECR等离子体源，用于产生等离子体；电子束引出模块，用于从等离子体中引出电子，形成电子束，并对电子束实现加速和聚束；电子光学模块，用于调节控制电子束引出模块输出的电子束的束斑大小和位置。本发明提供一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，通过电极的调控稳定的引出电子以及配合电子光学模块，最终聚束成满足加工要求的束斑，本发明可以获得稳定的电子束流和高精度的电子束斑，最终满足在轨制造的需求。
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公开(公告)号：CN115295376B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202210999141.3
申请日：2022-08-19
Applicant: 中国科学院空间应用工程与技术中心
Abstract: 本发明提供一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，包括：ECR等离子体源、电子束引出模块和电子光学模块；按自上向下方向，依次同轴设置ECR等离子体源、电子束引出模块和电子光学模块；ECR等离子体源，用于产生等离子体；电子束引出模块，用于从等离子体中引出电子，形成电子束，并对电子束实现加速和聚束；电子光学模块，用于调节控制电子束引出模块输出的电子束的束斑大小和位置。本发明提供一种面向空间制造用的电子束枪小型化引出结构，通过电极的调控稳定的引出电子以及配合电子光学模块，最终聚束成满足加工要求的束斑，本发明可以获得稳定的电子束流和高精度的电子束斑，最终满足在轨制造的需求。
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公开(公告)号：CN110957198B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201911273046.X
申请日：2019-12-12
Applicant: 中国科学院化学研究所
IPC: H01J3/18
Abstract: 本发明涉及一种逆压梯度传输的离子透镜系统，包括：从离子束入射方向依次串联的第一静电透镜组和第二静电透镜组；第一静电透镜组的透镜个数大于等于三个，且其个数为奇数；第一静电透镜组中每个静电透镜同轴设置，第奇数个第一静电透镜施加的电压为U1，第偶数个第一静电透镜施加的电压为U2，U1不等于U2；第二静电透镜组的透镜个数为大于等于两个，第二静电透镜组中每个静电透镜同轴设置，每个第二静电透镜组中心均设有通孔，且各通孔孔径沿离子束入射方向递减。本装置能够精确调节离子传输过程各静电透镜的电压，降低压梯度传输时离子通量损耗，并与逆压注入器耦合，实现逆压梯度下的离子的有效传输。
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公开(公告)号：CN112086330A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202011080535.6
申请日：2020-10-10
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明提供一种高能量离子源。本发明涉及超高真空设备开发领域。高能量离子源主要由离子聚焦机构、离子产生与引导机构、电子发射机构、氩气进入机构和角度可调机构组成。在这个核心构造里要产生氩离子，并完成对离子的加速和聚焦。本发明的离子产生与引导机构是由引出上覆盖栅网构成，该引导孔相对于氩离子处于负电压，电压值在数百至数千伏特之间可调。离子引导孔不仅可以加速氩离子，也可以约束离子束流的指向；本发明的离子聚焦机构采用三个互相绝缘的静电透镜，通过调节中间透镜可变电阻来调节离子束，进行进一步的约束；本发明的角度可调机构采用还可保证进气管与进气孔同轴心调形成团簇原子。本发明能够很好地约束离子束流的指向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115410881A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211107676.1
申请日：2022-09-13
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明提供一种高性能电子枪，包括电子发射装置、控制极、第一阳极、聚焦极、第二阳极、电极、偏转装置、支撑装置和电子枪壳；控制极、电子发射装置、第一阳极、聚焦极、第二阳极和偏转装置位于电子枪壳内，并通过支撑装置相连；控制极用于控制电子的数量和速度，控制极处于负电位，且其电位高于阴极电位，控制极中心开有中心孔；电子发射装置包括阴极及与其相连的阴极支撑环；第一阳极可保证电子加速向阳极方向高速移动；聚焦极用于电子束形状约束；第二阳极处于0电位；偏转装置使电子束发生偏转；控制极、电子发射装置、第一阳极、聚焦极、第二阳极、偏转装置分别与电极电连。该高性能电子枪具有能量和束斑大小可调、可偏转、可脉冲等优点。
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公开(公告)号：CN103956311A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410210102.6
申请日：2014-05-16
Applicant: 厦门大学
Inventor： 何坚
Abstract: 带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。
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公开(公告)号：CN119517703A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411637772.6
申请日：2024-11-15
Applicant: 深圳后浪实验室科技有限公司
IPC: H01J3/18
Abstract: 本申请公开了一种离子聚焦系统，包括工艺腔室、以及在工艺腔室内从上至下依次设置的束流离子源、电透镜组件和承载平台；工艺腔室接地；电透镜组件包括多个微元电透镜，多个微元电透镜拼接形成一电透镜阵列；电透镜阵列为向下弯曲的曲面并且为旋转对称图形；电透镜组件连接第一负压V1；承载平台连接第二负压V2，以与电透镜组件之间形成电场，并且V2＜V1＜0；束流离子源产生的等离子体通过电透镜组件后，其中的正离子在电场的作用下，向电透镜组件的中心区域聚焦，中心区域为以旋转轴为中心并位于承载平台上的圆形区域。本申请基于微积分思想的离子聚焦系统可以提高离子的聚焦效果，聚焦后的离子束直径可以达到10mm之内。
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公开(公告)号：CN110957198A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911273046.X
申请日：2019-12-12
Applicant: 中国科学院化学研究所
IPC: H01J3/18
Abstract: 本发明涉及一种逆压梯度传输的离子透镜系统，包括：从离子束入射方向依次串联的第一静电透镜组和第二静电透镜组；第一静电透镜组的透镜个数大于等于三个，且其个数为奇数；第一静电透镜组中每个静电透镜同轴设置，第奇数个第一静电透镜施加的电压为U1，第偶数个第一静电透镜施加的电压为U2，U1不等于U2；第二静电透镜组的透镜个数为大于等于两个，第二静电透镜组中每个静电透镜同轴设置，每个第二静电透镜组中心均设有通孔，且各通孔孔径沿离子束入射方向递减。本装置能够精确调节离子传输过程各静电透镜的电压，降低压梯度传输时离子通量损耗，并与逆压注入器耦合，实现逆压梯度下的离子的有效传输。
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公开(公告)号：CN103858201A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280021727.7
申请日：2012-03-02
Applicant: 珀金埃尔默健康科学股份有限公司
Inventor： D.G.维尔基
CPC classification number: H01J49/061 , H01J37/12 , H01J37/1472 , H01J49/06 , H01J49/063 , H01J49/22 , H01J49/26
Abstract: 一种系统包括放置在带电粒子源和检测器之间的静电透镜。该透镜包括：第一电极，具有放置在路径中并与第一轴线对齐的第一孔径；第二电极，在第一电极和带电粒子检测器之间的路径中，第二电极具有放置在路径中并与第二轴线对齐的第二孔径，第二轴线平行于第一轴线，并沿第一方向从第一轴线移位；第三电极，在第一电极和第二电极之间；以及耦合到第一、第二和第三电极的电位生成器。在工作期间，电位生成器将第一、第二和第三电位分别施加到第一、第二和第三电极，以使得静电透镜将沿第一轴线传播的来自带电粒子源的带电粒子束引导到沿第二轴线传播。
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