公开(公告)号：CN107356608A

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201710600207.6

申请日：2017-07-21

Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 ,  哈尔滨工业大学

Inventor： 袁晓东 ,  赵林杰 ,  程健 ,  陈明君 ,  廖威 ,  王海军 ,  张传超 ,  陈静 ,  张丽娟

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/95 ,  G01N2021/9511

Abstract: 本发明公开了一种大口径熔石英光学元件表面微缺陷快速暗场检测方法，首先采用明场面阵CCD显微系统对光学元件进行定位，确定光学元件在绝对坐标系下的位置，再利用光谱共焦测距系统确定光学元件强激光辐照出光面方程，最后利用暗场线阵CCD显微系统对精确移动的大口径熔石英光学元件表面进行单向光栅式逐行快速扫描，获取微缺陷信息，并采用明场面阵CCD显微系统在线监测光学元件。本发明实现了对光学元件表面微缺陷进行全口径自动化扫描，大大提高检测效率，全口径光学元件表面微缺陷的快速扫描与检测时间可控制在30min以内。

公开(公告)号：CN105181601A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510556941.8

申请日：2015-09-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈明君 ,  赵林杰 ,  王海军 ,  郑万国 ,  廖威 ,  袁晓东 ,  廖然

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/95

Abstract: 大口径曲面光学元件微缺陷修复用可微调显微检测装置,涉及一种曲面微缺陷检测装置。解决了大口径光学元件表面微缺陷的快速识别的定位精确度差的问题。本发明的暗场检测单元对熔石英光学元件曲面上的所有缺陷进行全口径扫描，并对扫描的微缺陷图像进行处理，确定微缺陷点的尺寸以及在光学元件表面上的坐标位置；明场监测单元对暗场检测单元处理后的微缺陷点进行实时监测，以观察缺陷点的实际尺寸大小；光谱共焦测距单元通过测量该可微调显微监测装置与曲面光学元件表面之间的距离，对表面上任意一微缺陷点进行Z向的精确定位。本发明适用性于学元件微缺陷修复用使用。