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公开(公告)号：CN2510997Y
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：CN01275368.8
申请日：2001-11-27
Applicant: 北京邮电大学
Abstract: 本实用新型涉及一种高速、高灵敏度的谐振腔增强型(RCE)光电探测器的结构。本实用新型其特征在于:它通过离子注入造成器件部分电极绝缘,使得导电区域呈现梳状或网孔状的微结构,降低了探测器的固有电容。本实用新型涉及的器件结构解除了RCE光电探测器的光耦合效率与响应速率之间互相制约的矛盾,势将对今后光波与光电子器件的发展产生重要而深远的影响。
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