激光光束聚焦机构的清洁装置及清洁方法

    公开(公告)号:CN116000015B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202211389400.7

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明提供了一种激光光束聚焦机构的清洁装置及清洁方法,涉及大型激光装置技术领域。其中的激光光束聚焦机构的清洁装置,所述激光光束聚焦机构包括多组透镜组件,所述清洁装置包括层流风单元及风刀单元,所述层流风单元的层流送风与所述风刀单元的风刀气帘形成环绕各所述各透镜组件的循环流场。由于层流风单元与风刀单元形成循环耦合流场,循环耦合流场对透镜组件进行防护并清除各透镜组件表面的污染物,污染物颗粒易随循环流场有规律的运动,使防护和清扫效果更彻底、无死角,能够全方位地对各透镜组件的光学元件进行吹扫,提高光学元件的洁净度。

    一种光学元件洁净转运装置

    公开(公告)号:CN115924291B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202211389503.3

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明提供了一种光学元件洁净转运装置,涉及光学元件洁净转运技术领域,包括箱体、对接机构、转运机构,所述箱体内设有连通的容置腔和对接口,所述容置腔用于容置预转运的光学元件,所述对接口用于供所述光学元件进出,所述对接机构连接于所述箱体上,所述对接机构用于与光学组件的窗口连接,所述转运机构与所述箱体滑动连接,所述转运机构用于与所述光学元件连接,以从所述光学组件取下所述光学组件并将所述光学元件运至所述容置腔中。通过对接机构与光学组件的窗口密封连接,使得转运时,转运装置与箱体间具有良好的密封性,同时能直接通过转运机构将光学元件从光学组件拉出并运至容置腔,无需额外的辅助机构,转运效率较高。

    一种微型温控装置及生物3D打印机

    公开(公告)号:CN113878872B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202111178018.7

    申请日:2021-10-09

    Abstract: 本发明提供一种微型温控装置及生物3D打印机,属于生物3D打印技术领域,所述微型温控装置包括微型温控装置,与红外观测装置配合使用,包括箱体以及设置于箱体内部的打印结构和测温结构,箱体的侧壁设有适于红外观测装置观测的红外观测口,打印结构适于放置生物材料,测温结构包括设置于箱体的底壁的测温模块,测温模块用于与空气发生热量传递,且测温模块适于在红外观测装置下反映箱体内部的温度分布,以监测生物材料的打印成形温度。本发明通过测温模块在外部的红外观测装置下反映箱体内部的温度分布,以监测生物材料的打印成形温度,能够更加准确地对箱体内部的实际温度进行控制,增强打印效果。

    一种气浮贴片机吸头
    154.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117750752A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202410089999.5

    申请日:2024-01-22

    Abstract: 一种气浮贴片机吸头,涉及半导体加工及微电子元器件制造技术领域。气浮轴承为圆筒结构,止推板为环形板固定在气浮轴承底端,回转电机转动安装在气浮轴承顶端,气动Z轴转动安装在气浮轴承底端,气动Z轴与回转电机连接传动,气动Z轴底端设置方槽并伸出止推板,回转电机与气动Z轴中心贯穿设置进气气道,方形气缸滑动插装在方槽内并留有气浮间隙,方形气缸侧壁加工节流微孔,吸头与方形气缸底端连接为一体,吸头两侧通过预紧弹簧与气动Z轴底端两侧连接,吸头底面中心设置吸气孔,侧方加工真空气道且外端安装真空接头。通过回转电机、气动Z轴和方形气缸的巧妙设置,能够同时满足吸头快速、高精度的径向回转运动和轴向位移运动。

    一种表面节流型无摩擦平衡气缸及工作方法

    公开(公告)号:CN116972044A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202311102087.9

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 一种表面节流型无摩擦平衡气缸及工作方法,它包含前端盖、缸体、活塞杆、活塞和后端盖;所述活塞的外表面上开有两个圆周凹槽,与前端盖相邻的圆周凹槽为供气槽,与后端盖相邻的圆周凹槽为卸气槽,卸气槽内开有与缸体内腔相通的卸气孔,活塞的与后端盖相邻的端面上沿轴向布置有供气通道,卸气孔与供气通道不相通,供气槽上开有与供气通道相通的供气孔,所述活塞的外表面设置有三段圆周凸台,以使气体进入到活塞与缸体之间的间隙中进行表面节流形成压力气膜。本发明占用空间小、加工装配简单、精度高、不易坏,能可靠的适用于超精密机床垂直轴平稳的垂直运动。

    一种维持激光系统洁净度的装置及方法

    公开(公告)号:CN116099823A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202211389389.4

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明提供了一种维持激光系统洁净度的装置及方法,涉及激光聚焦技术领域。本发明所述的维持激光系统洁净度的装置,包括沿气流流动方向依次设置的稳压箱、整流板、回流板和回流腔,所述稳压箱的侧面设置进风口以使所述气流进入所述稳压箱,所述整流板适于对所述气流导向及整流以使所述气流进入激光系统内,所述回流板适于对所述气流导向以使所述气流进入所述回流腔,所述回流腔的侧面设置出风口以使所述气流排出。本发明所述的技术方案,通过设置稳压箱、整流板、回流板和回流腔,保证气流的单向及稳定性,以及采用侧面进风及侧面出风,形成平行气流对激光系统内部冲扫,有效降低了激光系统内的污染,从而提高了激光系统内光学元件的使用寿命。

    激光真空隔窗组件的安装机构
    159.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116014534A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202211389425.7

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明提供了一种激光真空隔窗组件的安装机构,涉及大型激光装置技术领域。具体包括真空隔离框体、锁紧组件,所述锁紧组件与所述真空隔离框体相连接,所述锁紧组件用于连接真空隔窗组件,所述锁紧组件适于将所述真空隔窗组件压紧在所述真空隔离框体上或带动所述真空隔窗组件脱离所述真空隔离框体。由于本发明激光真空隔窗组件的安装机构中锁紧组件能够将真空隔窗组件压紧在真空隔离框体上或带动真空隔窗组件脱离真空隔离框体,通过操作锁紧组件即可完成真空隔窗组件的拆装,操作过程简单、效率高。

    激光光束聚焦机构的清洁装置及清洁方法

    公开(公告)号:CN116000015A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202211389400.7

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明提供了一种激光光束聚焦机构的清洁装置及清洁方法,涉及大型激光装置技术领域。其中的激光光束聚焦机构的清洁装置,所述激光光束聚焦机构包括多组透镜组件,所述清洁装置包括层流风单元及风刀单元,所述层流风单元的层流送风与所述风刀单元的风刀气帘形成环绕各所述各透镜组件的循环流场。由于层流风单元与风刀单元形成循环耦合流场,循环耦合流场对透镜组件进行防护并清除各透镜组件表面的污染物,污染物颗粒易随循环流场有规律的运动,使防护和清扫效果更彻底、无死角,能够全方位地对各透镜组件的光学元件进行吹扫,提高光学元件的洁净度。

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