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公开(公告)号：CN115793342B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202211564142.1
申请日：2022-12-07
Applicant: 西北工业大学宁波研究院 , 宁波启朴芯微系统技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种全固态多通道动态可调光谱滤波器件，包括从下到上依次设置的基底层、下层导电层、电致变色层、结构色层、固态电解质层、离子存储层和上层导电层，结构色层为周期性微纳结构或多层膜光谱滤波结构，与现有技术相比，本发明所提出的滤波器件的工作波段、中心波长和带宽可通过调整结构参数及外部驱动电压进行调控，便于在光谱成像系统中集成。
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公开(公告)号：CN117451654A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311220607.6
申请日：2023-09-21
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: G01N21/3504 , G01N21/3518 , G01N21/01
Abstract: 本发明提供了一种检测煤矿气体的红外气体传感器及其使用方法，包括：安装组件和外壳；安装组件上设有光源和探测器；且光源与探测器均与微处理器电信号连接；探测器上开设有四个通道，四个通道内分别设置有测量水蒸气吸收光谱滤光片、测量甲烷吸收光谱滤光片、测量二氧化硫吸收光谱滤光片和参比吸收光谱滤光片；外壳的扣合于安装组件上，外壳的上端开设有安装孔，安装孔内设置滤网。本发明通过设置四个滤光片可以同时完成三种气体的检测，排除了水蒸气较强吸收性和气体吸收谱有交叠的问题，且有参考光路，更适合在煤矿等具有多种气体的环境中工作，使得测量的准确性更高；且将其放置于外壳中，体积更小，造价更便宜。
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公开(公告)号：CN221201145U
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202323120585.4
申请日：2023-11-17
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: H01L21/687 , H01L21/306
Abstract: 本实用新型提供一种用于湿法腐蚀的夹具，包括：基座板以及一对弹性密封环；基座板的上下表面均开设有用于放置硅片的容纳槽；两个弹性密封环分别可拆卸地密封固定在两个容纳槽槽口处，且两个弹性密封环的内径小于容纳槽槽口的直径，使得硅片的周缘与弹性密封环的内圈相抵形成限位。本实用新型可同时夹持两个硅片进行单面的湿法腐蚀，结构简单，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN220183088U
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202320960019.5
申请日：2023-04-25
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本实用新型提供一种用于小尺寸玻璃片切割的治具，包括用刚性材质制成的治具本体以及保护膜，治具本体上设置有若干个上下贯穿的放置孔，放置孔用于放置待切割的玻璃片，各放置孔之间均设置有间隙；保护膜用于附着所有位于放置孔内的玻璃片。本实用新型让待切割的玻璃片在治具上间隔排列，当治具取走时，激光隐形切割一次划片就可以划过多片小尺寸玻璃片，从而提高生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN219685284U
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202321250505.4
申请日：2023-05-23
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型提供了一种晶圆夹具，包括第一夹头、第二夹头、第一夹臂和第二夹臂，所述第一夹头和/或所述第二夹头的表面设有感温镀层，所述感温镀层在所述第一夹头和所述第二夹头在夹持晶圆时，可以根据所述晶圆温度变化显示对应颜色，在夹持晶圆的过程中便可以快速感知晶圆温度变化，无需再使用特定测温装置，有效简化了感知晶圆温度变化的流程，减少了晶圆的制备时间，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN220189603U
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202320917777.9
申请日：2023-04-23
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: H01L21/683 , G03F1/00
Abstract: 本实用新型属于光刻机技术领域，提供了一种用于取放光刻版的真空吸笔，包括笔柄，所述笔柄为中空结构，所述笔柄的上端连接有真空吸管，所述真空吸管与抽真空设备连接，所述笔柄的下端连接有至少两个支架，所述支架为中空结构，所述支架的一端连接有吸盘，所述吸盘用于与光刻版上无图形分布区域吸附连接，所述笔柄上设有真空开关，所述真空开关与抽真空设备通讯连接。与现有技术相比，本实用新型的优点在于：通过吸盘真空吸附在光刻版上无图形分布区域对光刻版进行拿取，保证光刻版不会被污染，并且使用安全，光刻版不再存在脱落危险。
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公开(公告)号：CN220138263U
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202321009047.5
申请日：2023-04-28
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: H01L21/673
Abstract: 一种伸缩式的石英晶舟结构，包括两个基板和连接于两个基板之间的多个支撑杆，且支撑杆之间相互平行，所述支撑杆的中部由若干石英筒和若干石英棒间隔排布组成，且所述石英筒和石英棒均同轴线设置，所述石英筒的两端均设有沿轴向的供相邻的石英棒滑动插接的开孔，所述开孔内设有用于防止石英棒脱出的限位部，所述石英筒的外侧壁设有用于供晶圆定位的卡槽。与现有技术相比，本方案的晶舟结构能够承载相当数量的晶圆，在需要去胶时可以通过拉长支撑杆，增加晶圆间距提升去胶效果，而在其他情况下则可以通过压缩支撑杆减少整体尺寸，以便于运输或其他处理。
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公开(公告)号：CN220651059U
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202321882494.1
申请日：2023-07-18
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型提供了一种用于接近式光刻机找工艺剂量的分区挡板，包括分区板和限位板。使用时，所述限位板与掩模版的卡具卡合，分区板与限位板卡合。所述限位板顶面上沿所述第一圆孔部的外沿设有角度标尺，在实际操作过程中，操作者可以根据实际需求更换对应角度的分区板，实现选择以不同角度的透光区域进行分区调试；还可以对照角度标尺旋转分区板实现精准分区，从而达到仅曝光一片晶圆找到多个工艺剂量的效果，无需再每次测试工艺剂量时都一次性曝光整片晶圆，有效节省了时间，提升了寻找工艺剂量的效率，减少了晶圆的浪费，降低了调试工艺剂量的成本。
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公开(公告)号：CN220208086U
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202320988207.9
申请日：2023-04-27
Applicant: 宁波启朴芯微系统技术有限公司 , 西北工业大学宁波研究院
IPC: G03F1/82
Abstract: 本实用新型公开了一种应用于清洗光刻版的夹具，包括：固定手柄；第一连接杆，一端与固定手柄连接；第一夹杆，一端与第一连接杆的另一端连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第一凹槽件；活动手柄；第二连接杆，一端与活动手柄连接，第二连接杆与第一连接杆铰接；第二夹杆，一端与第二连接杆连接，另一端设置有用于夹持光刻版的第二凹槽件。通过在第一夹杆的边缘内侧设置第一凹槽件，在第二夹杆的边缘内侧设置第二凹槽件，通过第一凹槽件和第二凹槽件的配合来夹持光刻版；当第一夹杆和第二夹杆处于平行状态对光刻版进行夹持，能够有效避免光刻版被污染，还能够避免光刻版滑落。
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