平板显示器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1622716A

    公开(公告)日:2005-06-01

    申请号:CN200410095822.9

    申请日:2004-11-26

    Inventor: 金得钟 黄义勋

    CPC classification number: H01L27/124 H01L27/1288

    Abstract: 本发明公开一种平板显示器及其制造方法。所述平板显示器包括基底。信号线以阵列形式设置在所述基底上,由所述信号线的交叉设置所限定的单位像素区域具有像素驱动电路区域和发射区域。定位在所述像素驱动电路区域中的像素驱动TFT包括半导体层和对应于所述半导体层预定部分的栅极。所述栅极与所述信号线形成在相同的层中。电连接到所述像素驱动TFT的像素电极被定位在所述发射区域中。

    制造薄膜晶体管阵列基底的方法

    公开(公告)号:CN101123223A

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200710140306.7

    申请日:2007-08-09

    Inventor: 黄义勋

    CPC classification number: H01L27/1255

    Abstract: 本发明提供了一种制造具有改进的可靠性的薄膜晶体管(TFT)阵列基底的方法。通过在形成TFT的栅电极之后执行用于离子注入的光刻工艺,根据本发明示例性实施例的制造TFT阵列基底的方法可通过TFT的栅电极来防止可移动离子从光致抗蚀剂移动到TFT的沟道,另外,通过由用于PMOS TFT的沟道掺杂工艺来形成存储电容器的下电极,根据本发明另一示例性实施例的制造TFT阵列基底的方法可以省略用于形成存储电容器的下电极的光刻工艺。

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