公开(公告)号：CN1246738C

公开(公告)日：2006-03-22

申请号：CN99801861.9

申请日：1999-09-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 富川真佐夫 ,  冈本尚代 ,  吉田智之 ,  奥田良治

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/037 ,  G03F7/022 ,  C08L79/08

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G73/1025 ,  C08L79/08

Abstract: 本发明提供一种可以碱液显影的高光敏度的感光性树脂组合物，它是一种正型感光性树脂先质组合物，其特征在于，其中含有(a)结构单元间的键以通式(1)表示的结构单元为主要成分的聚合物和(b)光酸发生剂，通过光照射及其后续的显影可以形成图案，上述聚合物1g中含有的羧基总量为0.02mmol以上、2.0mmol以下。R1为具有至少2个以上碳原子的3价～8价有机基团，R2为具有至少2个以上碳原子的2价～6价有机基团、R3为氢或碳原子数1～20的有机基团。n为3～100000的整数，m为1或2，p、q为0～4的整数，且p+q＞0。