白炽灯及光照射式加热处理装置

    公开(公告)号:CN101256929B

    公开(公告)日:2011-10-05

    申请号:CN200810003200.7

    申请日:2008-01-15

    CPC classification number: H01K1/16 H01K7/00 H01K9/08 H01L21/67115 H05B3/0047

    Abstract: 提供一种能够在灯丝上投入大电力,切实地得到所希望的光放射照度分布的白炽灯,以及被处理体上的光放射照度分布及被处理体的加热处理不会发生偏差的光照射式加热处理装置。该白炽灯在至少一端形成有密封部的长管状的发光管的内部,分别由线圈状的灯丝和引线构成的多个灯丝体,以各灯丝沿着发光管的管轴延伸的方式依次配设,能够对各灯丝独立地供电,在与发光管的管轴正交的剖面上,在由相对于灯丝正交的两根外切线与发光管的管壁包围的、至少包括灯丝的区域以外的区域中,存在其他灯丝的所有引线。光照射式加热处理装置具有上述白炽灯。

    加热装置
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101295632B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200810099642.6

    申请日:2006-03-02

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种加热装置,即使在窄小区域中产生成为失去温度分布的均匀性的主要原因的温度变化时,也可以均匀地加热被处理物,而且可以小型化。本发明的加热装置,在发光管的内部沿发光管的管轴延伸地按顺序并列配置有多根灯丝,且并列配置有多个独立地对各灯丝供电的加热器,其特征在于,使上述各加热器的各发光区域与各加热器正下方的被处理物的尺寸相适合。

    白炽灯
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101685763A

    公开(公告)日:2010-03-31

    申请号:CN200910175875.4

    申请日:2009-09-23

    Abstract: 本发明提供一种具备多个独立供电路径的白炽灯,能够防止供电路径彼此短路。白炽灯包括:直管状发光部,具有在轴向上被分离的多个灯丝(F)(F1、F2、F3);以及密封部(20),在该发光部(10)的两端,以排列的方式埋设与灯丝数相对应的金属箔(3)(31、32、33);并且各灯丝(F)能够分别通过引线被独立供电,其特征在于,所述发光部(10)具有收容灯丝(F)的第一收容空间(11)及收纳内部引线(50)(51、52、53)的第二收容空间(12),各个收容空间成对并且在轴向上延伸。

    白炽灯及光照射式加热处理装置

    公开(公告)号:CN101661868A

    公开(公告)日:2010-03-03

    申请号:CN200910163491.0

    申请日:2009-08-21

    Abstract: 本发明涉及白炽灯及光照射式加热处理装置,目的在于使金属箔的宽度比以往的宽,以便即使增加对白炽灯供应的电流,埋设于密封部的金属箔也不熔断,由此提高被处理体的升温速度。白炽灯具备直管状发光管,发光管具有发光部及在发光部两端连续形成的一对扁平密封部,多个线圈状灯丝在发光部内部分别在发光管管轴方向依次排列配设,各灯丝的两端分别连结一对内部导线,多个金属箔互相隔离而分别被埋设在各密封部,各内部导线分别连接于各金属箔,各外部导线分别连接于各金属箔,其中,上述密封部宽于上述发光部的外径,将在正交于上述发光管的管轴的方向的两端配置的两个金属箔的侧缘部用与上述管轴平行延伸的二直线夹住的宽度比上述发光部的内径大。

    灯丝灯
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1975987A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200610163521.4

    申请日:2006-11-29

    CPC classification number: H01K1/38 H01J5/32

    Abstract: 本发明目的在于提供一种灯丝灯,即使被处理物上的局部性温度变化程度分布相对于基板形状为非对称或局部性温度变化程度在特定区域不同时,仍能均匀地加热被处理物,并可用于小型光照射式加热处理装置,特别在光照式加热处理装置所用的灯丝灯中,即使在封固部埋设多个金属箔时,也不会产生密封不良等问题,提供可靠性高的灯丝灯。在发光管内部,沿着发光管管轴设有多个由灯丝和向该灯丝供电的引线连接而成的灯丝体,在所述发光管端部设有封固部,该封固部设有多个分别与多个灯丝体电连接的导电性构件,封固部设有棒状的密封用绝缘体,并且在该密封用绝缘体的外周设置间隔地排列多个导电性构件,发光管与密封用绝缘体两者间通过导电性构件气密密封。

    加热平台
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1674721A

    公开(公告)日:2005-09-28

    申请号:CN200510003687.5

    申请日:2005-01-10

    CPC classification number: H01L21/67115 H01L21/67109

    Abstract: 提供一种可以高温加热晶片等被加热物,并且可防止在加热中因产生不纯物而导致的被加热物污染的加热平台。具备:载置被加热物的平坦的平台部,具有与该平台部连续、在其内部收纳有作为加热装置的多个灯泡的圆筒部的玻璃制部件;以及具有圆筒部及底面部,与玻璃制部件一体化而形成减压状态或是充填有惰性气体的内部空间的金属制部件。

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