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公开(公告)号：CN104880908A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510088181.2
申请日：2015-02-26
Applicant: 住友化学株式会社
Inventor： 山下和贵 , 井上裕康 , 三木雅之 , 河西裕
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , G02F1/1335 , H01L27/32
Abstract: 一种感光性树脂组合物，在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜，接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口，形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。
