公开(公告)号：CN205749380U

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201620467430.9

申请日：2016-05-20

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘恒 ,  阮玮琪 ,  熊丰 ,  徐佳棋

IPC: G01N27/22

Abstract: 本实用新型公开了一种基于PCB和电场边缘效应的水含量测量探头，包括依次从上到下设置的高精度检测电容、高介电常数环氧树脂层和恒温控制结构；高精度检测电容包括正负极对状梳齿和绝缘油漆，正负极对状梳齿附着在高介电常数环氧树脂层上，并浸没在绝缘油漆中、通过绝缘油漆固定在高介电常数环氧树脂层上；正负极对状梳齿包括正电极、负电极、若干个成对的正极梳齿和负极梳齿，正极梳齿并联于正电极，负极梳齿并联于负电极，正极梳齿和负极梳齿相互交叉平面设置；正电极、负电极、正极梳齿和负极梳齿均采用PCB工艺中的印制覆铜。低成本、研发周期短、测量范围广、精度高。

公开(公告)号：CN204302309U

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201420857649.0

申请日：2014-12-30

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘恒 ,  熊丰 ,  张加宏 ,  孙冬娇 ,  李敏

IPC: G01P15/125

Abstract: 本实用新型公开了一种双轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；结构层包括一个关于中心自对称的质量块、质量块外框、用于支撑质量块的四个支撑梁、四个差分检测电容单元，每个差分检测电容单元包括至少一个差分检测电容对，差分检测电容对包括一个可动电容极板和两个固定检测电容极板，金电极层包括第一至第十二电极。通过加速度改变质量块的可动电容极板与对应固定检测电容极板的间距，从而改变差分检测电容单元的电容大小，接口电路通过测量检测电容来换算出加速度。本实用新型加速度计能敏感质量块面内相互垂直的两个方向的加速度，对称结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。