公开(公告)号：CN113252167B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202110544264.3

申请日：2021-05-19

Applicant: 南京大学

Inventor： 张蜡宝 ,  戴越 ,  谢臻达 ,  贾琨鹏 ,  费越 ,  汪小涵 ,  陈奇 ,  李飞燕 ,  何广龙 ,  涂学凑 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC: G01J1/44 ,  G01J1/42 ,  G03F1/78 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法，包括超导纳米线单元、电极、玻璃插芯、玻璃板套夹和光纤，光纤包括纤芯和包层；光纤嵌入在玻璃插芯内，玻璃插芯呈一定角度嵌入在玻璃板套夹内，该光纤、玻璃插芯和玻璃板套夹的端面均处于同一水平面上；超导纳米线单元设置在光纤的上表面并覆盖住纤芯；电极设置在包层上表面并位于超导纳米线单元两侧；本发明通过将超导纳米线单光子探测器设计在光纤端面，可制备得到宽光谱响应、高效率的光纤端面超导纳米线单光子探测器，大幅度提高了超导单光子探测器的集成度，降低了工艺制作步骤，从而扩展了应用领域。

公开(公告)号：CN112798116A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202110042317.1

申请日：2021-01-13

Applicant: 南京大学

Inventor： 张蜡宝 ,  陈奇 ,  葛睿 ,  李飞燕 ,  张彪 ,  靳飞飞 ,  韩航 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC: G01J11/00 ,  H01L39/12 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种中红外超导纳米线单光子探测器，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，将含Mo、Si非晶或多晶超导薄膜，制成超导纳米线，作为探测器的光敏面，实现了中红外SNSPD的有效制备；采用中红外光源、可调衰减器、准直器、带通滤波器、稀释制冷机、光敏面、偏置器、放大器和计数器，组成探测器，采用自由空间耦合技术，有效解决了光纤耦合中红外SNSPD的难题；发射并接收中红外波段的光子，计算单位时间到达光敏面的光子数，为有效计算中红外SNSPD量子探测效率奠定了基础。