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公开(公告)号：CN205352971U
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201620093968.8
申请日：2016-01-29
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N23/20
Abstract: 本实用新型提供一种用于X射线衍射仪的两轴精密运动平台，属于X射线及多轴精密运动平台领域。采用Z向平行布置两个压电直线电机来推动试件工作台，试件工作台的Z向运动由两个Z向压电直线电机的同步运动产生，采用两个霍尔传感器分别作为两个Z向压电直线电机位移检测元件，使用弹簧和连杆对压电直线电机的电机杆与试件工作台的接触部位和试件工作台与Z向滑块的铰接部位进行预紧。优点是采用精密压电直线电机作为驱动部件，运动行程大、响应迅速、定位精度高，使用霍尔传感器提供限位信号和初始位置信号，防止运动部件超出运动范围，本实用新型适用于：X射线衍射分析中的试件的运动及多角度照射分析。
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