微冷却测控系统及其加工方法

    公开(公告)号:CN1583542A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN200410013783.3

    申请日:2004-05-28

    Abstract: 本发明涉及的是一种微冷却测控系统及其加工方法。它包括硅基片和玻璃片两层,硅基片表面上设置有微沟道和无阀微泵图形,玻璃片上设置有温度和流量传感器,硅片和玻璃片通过键合工艺粘接在一起。本发明产品的优点在于:结构简单,易于操作;易于批量生产;可靠性高;流量控制范围宽。本发明适用于纳、皮卫星环境热控、燃料控制和微电子芯片系统冷却等领域。

    封装零部件漏孔检测筛选法及装置

    公开(公告)号:CN1013409B

    公开(公告)日:1991-07-31

    申请号:CN87106017

    申请日:1987-08-29

    Abstract: 用被检零部件和检漏系统构成一个可以充纳气体的腔体,再将此腔体浸没在试验液体(乙醇或水)中,给腔体充以压强为PG的气体(空气、氮气等),当PG大于从漏孔产生气泡的临界压强Pγ0时,就从漏孔产生气泡而检出漏孔。采用气体的混合流模型分析气体通过漏孔的运动规律,得在此模型下气泡法检漏灵敏度R×l(漏率与漏孔长度乘积)与压强PG关系。本发明可应用于电子元器件以及有密封要求的其它装置的零部件密封性进行定量检测和定性筛选。

    硅平面型功率晶体管管芯制造方法

    公开(公告)号:CN87102729A

    公开(公告)日:1988-04-06

    申请号:CN87102729

    申请日:1987-04-14

    Abstract: 在对硅平面型功率晶体管管芯cb结低击穿、管道击穿、多段击穿、大漏电,以及ce结穿通等产生原因的研究分析的基础上,提出一种刻蚀沟槽和低温钝化相结合的刻槽硅平面型功率晶体管管芯制造技术。大幅度的提高功率晶体管管芯的合格率和高档品率,并使整批管芯cb结击穿电压均一化,改善管芯电性能等。

    非接触式三轴气浮台转角测量装置

    公开(公告)号:CN100401010C

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200610010435.X

    申请日:2006-08-25

    Abstract: 本发明提供的是一种非接触式三轴气浮台转角测量装置及其测量方法。在三轴气浮台台面中心安装有微型绿光激光器,台面上装有彩色CCD摄像机,CCD摄像机通过数据线与图像采集卡相连,图像采集卡装入气浮台台面控制单元PC/104,在气浮台上方安装由4个红光LED和白色底板构成的测量靶标。采用彩色CCD摄像机采集由4个红光LED和微型绿光激光器在测量靶标白色底板上形成的光点构成的图像,利用计算机视觉理论并结合测量靶标及CCD摄像机安装信息,计算出气浮台台面的转动参数,并通过连续获取图像序列,实现对三轴气浮台转角的非接触、无扰动、大范围、高频率的测量。

    三轴气浮台姿态角测量装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN1877247A

    公开(公告)日:2006-12-13

    申请号:CN200610010260.2

    申请日:2006-07-07

    Abstract: 本发明提供的是一种三轴气浮台姿态角测量装置及其测量方法。在三轴气浮台的台面上安装有测量光标系统,在三轴气浮台的上方通过支架安装有CCD摄像机,CCD摄像机通过数据线与图像采集卡相连,图像采集卡装入计算机,计算机上连接有无线传输设备。采用一套黑白CCD摄像机采集经过红外滤波的由红外发光二极管构成的测量光标系统的图像,利用计算机视觉理论并结合测量光标点间的距离信息,计算出气浮台台面相对于CCD摄像机的相对运动参数,并通过连续获取图像序列,实现对三轴气浮台姿态角的非接触、无扰动、大范围、高频率的测量。本发明也可以进行单轴气浮台或五自由度气浮台的姿态角测量。

    微型液体甲醇燃料电池
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1595702A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410043700.5

    申请日:2004-07-12

    CPC classification number: Y02P70/56

    Abstract: 本发明是一种微型液体甲醇燃料电池。包括一个膜电极和位于膜电极两侧的双极板,双极板与膜电极相对应的一侧上含有与膜电极相对应的流场、另一侧上含有与流场相通的液体导流通道,流场中设置有支撑点,流场上淀积有作为收集电子及电池电极引出线的金属薄膜,双极板外键合有玻璃密封层,双极板与膜电极组装在一起,其端部有密封树脂胶。此种电池的整体厚度小于3mm。同时,通过MEMS工艺技术加工制作的双极板,可以有效的完成流场的结构和电流收集,并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。

    无阀微泵及其封装方法
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1594883A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410043699.6

    申请日:2004-07-12

    Abstract: 本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体,在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫,在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片,压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外,在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环,使用夹具将各零部件自上而下地压紧,然后,用密封树脂胶将金属环至泵体的各零部件进行胶接、固化。本发明具有密封性能好、工作稳定、可靠性高、便于批量生产等优点。本发明的产品可广泛应用于可用于微型飞机、微型航天器发动机的推进控制,以及微化学分析、生物医药等领域。

    一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置

    公开(公告)号:CN104528633A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410716011.X

    申请日:2014-12-02

    Abstract: 一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置,包括多功能键合台和电器机箱;所述多功能键合台包括可调基座、加热器下电极、可拆卸上电极组件以及显微镜组件,可调基座包括带上电极支撑架的底座和平面x、y向可调基台,加热器下电极安装在平面x、y向可调基台上;可拆卸上电极组件和显微镜组件安装在上电极支撑架上;所述电器机箱包括高压电源组件、键合监测系统、控温系统,高压电源用于对位于加热器下电极和可拆卸上电极组件之间的待静电键合样品施加键合电压;键合监测系统实时采集键合电流并绘出电流-时间曲线,实时反应静电键合完成情况;控温系统用于对加热器下电极进行控温。该装置具有结构紧凑、小巧、性价比高等优点。

    带增益指示功能的多级自动增益控制集成电路系统

    公开(公告)号:CN100568715C

    公开(公告)日:2009-12-09

    申请号:CN200510009862.1

    申请日:2005-03-30

    Abstract: 本发明提供的是带增益指示功能的多级自动增益控制集成电路系统。它由前置放大电路、带通滤波电路、可控增益放大器、由峰值检测电路和判断电路组成的控制电平产生电路构成。信号首先耦合至前置放大电路,再分两路分别进入峰值检测电路和带通滤波电路,峰值检测电路产生的直流电平进入判断电路与基准参考电平比较,产生的自动增益,控制放大器的控制电平,控制电平通过编码产生增益指示输出信号,控制电平同时也进入可控增益放大器控制可控增益放大器的放大倍数、对来自带通滤波器的信号进行适当的放大,根据指示输出信号判断可控增益放大器的增益,然后进行被检测音频信号原始真实强弱的还原。本发明能扩展输入信号的处理范围,并且指示输出功能。

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