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公开(公告)号：CN103869633A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410145987.6
申请日：2014-04-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种极紫外光刻光源收集及照明系统，包括前端反射镜组和后端反射镜组两部分，前端反射镜组和后端反射镜组之间通过支撑结构安装固定。前端反射镜组中每层反射面由不同的抛物线段绕光轴旋转而成，极紫外光源中心位于抛物线的焦平面并处在光轴上。光源发出的光线经各抛物线反射后，以平行光路射出；后端反镜组各环带状圆锥面将前端反射面射出的平行光路分割成多个细窄平行光路，并全部反射到最终的照明点处。本发明使极紫外光刻机光源收集系统在进行光线收集的同时，也能够实现照明系统的功能，完成光束的整形和光谱过滤工作，为掩膜板的曝光提供良好的照明条件，将收集系统与照明系统整合到一起，能够缩减整体工作空间并使光学系统结构更加紧凑。
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公开(公告)号：CN103744183A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410033117.X
申请日：2014-01-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 一种红外宽波段多干扰复合光学系统，属于红外和模拟仿真技术领域。所述系统包括由景象生成器和干扰准直光学系统组成的干扰光学系统、复合光学系统、扩束元件、扩束准直光学系统、平面反射镜，干扰光学系统为四路，位于垂直于纸面方向的同一平面内且沿“十”字方向分布，景象生成器发出的红外辐射经干扰准直光学系统准直后为平面反射镜所反射，再经复合光学系统复合后进入扩束元件，经其扩束后再通过扩束准直光学系统入射到后续的耦合镜上，耦合镜将目标光路和干扰光路耦合在一起，再经主投影光学系统的物镜和目镜扩束后成像到无限远，与被测光学系统进行匹配。该系统的显著优点在于：耦合效率高，体积小，性价比很高，且易于加工装调。
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公开(公告)号：CN103529550A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310519728.0
申请日：2013-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 红外宽波段目标仿真光学系统，涉及一种适用于测试红外短波和中波成像系统的动态目标识别与跟踪能力的红外目标仿真光学系统。所述系统包括红外景象生成器(100)、目标光学系统(200)、耦合镜(300)以及主投影光学系统(400)四部分，红外景象生成器(100)发出的红外辐射经目标光学系统(200)准直后进入耦合镜(300)，再经主投影光学系统(400)扩束后成像到无限远，与被测光学系统进行匹配。本发明红外仿真光学系统的工作波段为2.2~4.8µm，视场为±4°及出瞳距为200mm计，调制传递函数在20lp/mm时大于0.6，接近衍射极限，可作为测试红外光学系统的目标模拟器而广泛应用。
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公开(公告)号：CN116430562A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310427375.5
申请日：2023-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B17/06
Abstract: 一种制冷型红外同轴四反射镜光学系统，属于红外光学技术领域，本发明为解决现有同轴四反射镜系统存在边缘视场二次遮拦的问题。本发明包括四反射镜组件和冷光阑，所述四反射镜组件由主镜、次镜、三镜和四镜同轴布设为主光轴对称结构，四反射镜组件与冷光阑同轴排布为光学系统，冷光阑作为光学系统的孔径光阑，所述光学系统采用有中间实像的结构形式；来自近似无穷远的目标光线经过主镜和次镜反射后，到达三镜之前形成中间实像，三镜反射后再经四镜反射，穿过冷光阑，最终将景物成像在制冷型探测器像面处；四个镜子顶点曲率半径R1，R2，R3，R4的取值范围分别为：R1取值范围在‑300～‑120mm，R2取值范围在‑50～‑100mm，R3取值范围在‑100～‑300mm，R4取值范围在100～800mm。
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公开(公告)号：CN115900946A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211386628.0
申请日：2022-11-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于谷物检测的可采集图像的光谱探头，属于光谱分析仪技术领域，本发明为解决现有光谱仪只能对谷物进行光谱分析，若想采集被测物的外观信息，则需要单独拍照，费时费力的问题。本发明方案：一号入射光纤和二号入射光纤出射光束照射在被测谷物，所述被测谷物的漫反射光和反射光同时入射至筒形外壳内腔中，光束经过成像镜头后，再由分光片分为两束光，根据两束光实现样品外观和样品成分的同步检测：其中一束光经一号滤光片滤掉红外光，保留可见光的光束从筒形外壳出光侧输出并将在探测器上成像形成样品图像，所述样品图像用于分析被测谷物的外观是否合格；另一束光经二号滤光片及出射光纤传导至光谱检测单元，用于分析被测谷物的样品成分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104866680B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201510292502.0
申请日：2015-06-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种极紫外收集系统中镜体背侧冷却管道的最优间距求取方法，其步骤如下：S1：根据镜体热流密度分布特点，初步确定镜体背侧冷却管总体排列布局方案；S2：建立能够反映实际情况的传热物理模型；S3：建立镜体与冷却管道间热传导的数值计算模型，并初步求得镜体沿轴向方向的温度分布；S4：考虑水流吸热升温引起的管壁温度差异性，在计算中加入一组能量守恒关系式，再次求解更加精确的镜体温度；S5：基于S1、S2、S3、S4技术方案步骤，编写冷却管最佳间距优化程序，并将各单管间距作为最后的循环变量加入到程序运算中，求得相邻单管间距的最优解。本发明能够精确的计算出冷却管道间距的最优解，使得极紫外收集系统中整个镜体达到均匀稳定的温度分布，从而精确的对冷却管道排列布局进行优化性设计。
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公开(公告)号：CN103513309B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201310519164.0
申请日：2013-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 长波红外充气式薄膜反射镜主镜面形生成方法，属于光学技术领域。所述薄膜反射镜由第一聚酰亚胺薄膜层和第二聚酰亚胺薄膜层组成，两层聚酰亚胺薄膜之间通过密封圈实现密封连接，密封圈上设有充气孔，充气孔通过充气管与充气装置连接；第一聚酰亚胺薄膜层是透明层；第二聚酰亚胺薄膜层作为工作反射面，其靠近第一聚酰亚胺薄膜层的表面镀铝膜，另一侧表面镀铜膜。本发明的长波红外充气式薄膜反射镜可用于光学成像，作为系统主镜其结构简单、质量较小、成本低、可制成大口径光学系统。本发明通过镀膜膜层厚度的变化来实现充气式薄膜反射镜的反射面面形接近抛物面，这种方法工艺简单、易于实现和大规模推广，并且所生成的面形精度较高。
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公开(公告)号：CN104960187A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201510261344.2
申请日：2015-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种聚酰亚胺薄膜曲面预成形装置，它属于充气式薄膜反射镜的技术领域。它是为了解决现有匀厚度曲面薄膜的制造方法存在对支撑体的转速精度要求较高，而且难以制造曲率较大薄膜的问题。它的外凸曲面模具的内部和内凹曲面支撑体模具的内部都设置有常规的温加热装置和温度检测装置；内凹曲面支撑体模具的内凹曲面向上水平安装在光学平台上，通过控制精密机械臂，使精密机械臂能带动外凸曲面模具的外凸曲面向下运动靠近内凹曲面支撑体模具的内凹曲面，并留有均匀的间隙，第一辊轮和第二辊轮分别设置在内凹曲面支撑体模具的两侧。本发明的装置以尚未完全固化的聚酰胺酸薄膜为原材料，对其进行预成形处理，能得到具有特定面形的聚酰亚胺曲面薄膜。
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公开(公告)号：CN104866680A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201510292502.0
申请日：2015-06-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种极紫外收集系统中镜体背侧冷却管道的最优间距求取方法，其步骤如下：S1：根据镜体热流密度分布特点，初步确定镜体背侧冷却管总体排列布局方案；S2：建立能够反映实际情况的传热物理模型；S3：建立镜体与冷却管道间热传导的数值计算模型，并初步求得镜体沿轴向方向的温度分布；S4：考虑水流吸热升温引起的管壁温度差异性，在计算中加入一组能量守恒关系式，再次求解更加精确的镜体温度；S5：基于S1、S2、S3、S4技术方案步骤，编写冷却管最佳间距优化程序，并将各单管间距作为最后的循环变量加入到程序运算中，求得相邻单管间距的最优解。本发明能够精确的计算出冷却管道间距的最优解，使得极紫外收集系统中整个镜体达到均匀稳定的温度分布，从而精确的对冷却管道排列布局进行优化性设计。
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公开(公告)号：CN103869633B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201410145987.6
申请日：2014-04-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种极紫外光刻光源收集及照明系统，包括前端反射镜组和后端反射镜组两部分，前端反射镜组和后端反射镜组之间通过支撑结构安装固定。前端反射镜组中每层反射面由不同的抛物线段绕光轴旋转而成，极紫外光源中心位于抛物线的焦平面并处在光轴上。光源发出的光线经各抛物线反射后，以平行光路射出；后端反镜组各环带状圆锥面将前端反射面射出的平行光路分割成多个细窄平行光路，并全部反射到最终的照明点处。本发明使极紫外光刻机光源收集系统在进行光线收集的同时，也能够实现照明系统的功能，完成光束的整形和光谱过滤工作，为掩膜板的曝光提供良好的照明条件，将收集系统与照明系统整合到一起，能够缩减整体工作空间并使光学系统结构更加紧凑。
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