氮化物半导体器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN101609961B

    公开(公告)日:2012-06-06

    申请号:CN200910159795.X

    申请日:2007-03-06

    Abstract: 本发明提供:包含在发光部分形成的,并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体的涂膜的氮化物半导体发光器件;和制备所述氮化物半导体发光器件的方法。本发明还提供包含氮化物半导体层和栅极绝缘膜的氮化物半导体晶体管器件,所述栅极绝缘膜与所述氮化物半导体层接触并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体。

    发光装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101325310B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN200810125459.9

    申请日:2008-06-13

    CPC classification number: H01L2224/48091 H01L2924/00014

    Abstract: 本发明公开了一种发光装置及其制造方法。该发光装置包括光吸收膜(5),其形成在用在激光器装置中的典型地为激光器芯片(1)的激光器芯片的发光侧的端部表面的最外表面上,并且该光吸收膜吸收部分所发射的光。通过形成该光吸收膜(5),抑制了由与所发射的光反应引起的污染物的附着和聚集。

    氮化物半导体发光元件

    公开(公告)号:CN102170090A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201110082164.X

    申请日:2005-12-20

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件。该发光元件包括:具有六方晶系结晶的氮化物基III-V族化合物半导体层;形成在该氮化物基III-V族化合物半导体层中的光谐振器;和形成在该光谐振器端面的端面涂膜,其中,粘合层形成在该光谐振器的该端面和该端面涂膜之间,至少部分的该端面涂膜或粘合层包含AlNxOy,其中x<1,y<1,x+y=1。这样,就得到了端面涂膜设置在粘合层上的结构。本发明增加了光谐振器端面和端面涂膜之间的粘合力,从而就不需要通过控制薄膜厚度来防止pn结短路和光吸收。

    氮化物半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1805230B

    公开(公告)日:2011-06-01

    申请号:CN200510136195.3

    申请日:2005-12-20

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件及其制造方法。六方晶系结晶的粘合层设置在具有氮化物基III-V族化合物半导体层的氮化物激光棒的光谐振器端面上,并且端面涂膜设置在粘合层上。这样,就得到了端面涂膜设置在粘合层上的结构。本发明增加了光谐振器端面和端面涂膜之间的粘合力,从而就不需要通过控制薄膜厚度来防止pn结短路和光吸收。

    氮化物半导体器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN101499618A

    公开(公告)日:2009-08-05

    申请号:CN200910007988.3

    申请日:2007-03-06

    Abstract: 本发明提供:包含在发光部分形成的,并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体的涂膜的氮化物半导体发光器件;和制备所述氮化物半导体发光器件的方法。本发明还提供包含氮化物半导体层和栅极绝缘膜的氮化物半导体晶体管器件,所述栅极绝缘膜与所述氮化物半导体层接触并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体。

    氮化物半导体激光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100431229C

    公开(公告)日:2008-11-05

    申请号:CN200610121688.4

    申请日:2006-08-28

    Abstract: 对具有氮化物半导体层的衬底解理,以形成谐振器端面,在所述谐振器端面上形成涂覆膜,从而制成氮化物半导体激光棒。将其划分为氮化物半导体激光元件。在谐振器端面形成涂覆膜之前,将谐振器端面暴露于由含有氮气的气体生成的等离子体气氛中。当以“a”表示所述暴露之前所述谐振器端面的表面内的氮镓比率,以“b”表示在所述暴露之前自所述谐振器端面的表面起的内部的氮镓比率的平均值,以“d”表示在暴露于所述等离子体气氛之后所述谐振器端面的表面内的氮镓比率,以“e”表示在所述暴露之后自所述谐振器端面的表面起的内部的氮镓比率的平均值时,将由g=(b·d)/(a·e)表示的值“g”设为满足g≥0.8的值。

    氮化物半导体发光器件

    公开(公告)号:CN101499618B

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN200910007988.3

    申请日:2007-03-06

    Abstract: 本发明提供包含在发光部分形成的,并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体的涂膜的氮化物半导体发光器件;和制备所述氮化物半导体发光器件的方法。本发明还提供包含氮化物半导体层和栅极绝缘膜的氮化物半导体晶体管器件,所述栅极绝缘膜与所述氮化物半导体层接触并且包含氮化铝晶体或氧氮化铝晶体。

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