高反射的微机电系统(MEMS)装置、便携式装置以及方法

    公开(公告)号:CN102162912A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN201110036161.2

    申请日:2011-02-09

    CPC classification number: G02B26/0841 G02B26/001

    Abstract: 一种基于干涉的微机电系统(MEMS)装置,具有:下基板,包括基板电极;下隔膜,其与所述下基板隔开下间隙,所述下隔膜包括下隔膜电极;上隔膜,位于所述下隔膜的与所述下基板相对的一侧上且与所述下隔膜隔开上间隙,所述上隔膜包括上隔膜电极;和控制电路,被配置成提供控制电压至所述下基板、下隔膜和上隔膜的电极,以改变所述下间隙和上间隙的尺寸,从而控制所述装置对入射到所述下基板上的光线的反射特性。

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