公开(公告)号：CN114072379A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202080045638.0

申请日：2020-04-28

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 王惠瑜 ,  丹吴直纮 ,  山本庆 ,  丸茂和博

IPC: C07C309/17 ,  C07C309/42 ,  C07C311/07 ,  C07C311/48 ,  C07C311/51 ,  C09K3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够形成缺陷被抑制的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法。并且，本发明的其他课题在于提供一种包括上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法的图案形成方法、及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法为至少包含通过酸的作用分解而极性增大的树脂、通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物及溶剂的感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法，是通过上述光化射线或放射线的照射产生酸的化合物包含选自由化合物(I)～下述化合物(III)组成的组中的1种以上的化合物，将包含上述通过酸的作用分解而极性增大的树脂及第1溶剂的第1溶液与选自由化合物(I)～化合物(III)组成的组中的1种以上的化合物混合而制造感光化射线性或感放射线性树脂组合物的方法。

公开(公告)号：CN107408495B

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201680016592.3

申请日：2016-03-14

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 后藤雄一郎 ,  丸茂和博 ,  北川浩隆 ,  大松祯

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/48 ,  C08F2/50

Abstract: 本发明提供一种能够兼顾提高脱模性和抑制蚀刻时产生起伏的压印用固化性组合物以及使用了上述压印用固化性组合物的固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模。一种压印用固化性组合物，其含有：单官能聚合性化合物；多官能聚合性化合物，包含脂环结构和芳香环结构中的至少一者，且25℃下的粘度为150mPa·s以下；及光聚合引发剂，所述压印用固化性组合物中，相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有5～30质量％的上述单官能聚合性化合物，上述压印用固化性组合物的固化膜的弹性模量为3.5GPa以下且玻璃化转变温度为90℃以上。

公开(公告)号：CN107408495A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680016592.3

申请日：2016-03-14

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 后藤雄一郎 ,  丸茂和博 ,  北川浩隆 ,  大松祯

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/48 ,  C08F2/50

CPC classification number: C08F222/14 ,  B29C59/02 ,  C08F2/48 ,  C08F222/10 ,  C08F2220/1858 ,  C08F2220/1866 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2220/1883 ,  C08F2220/1891 ,  C08F2222/1013 ,  C08F2800/20 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种能够兼顾提高脱模性和抑制蚀刻时产生起伏的压印用固化性组合物以及使用了上述压印用固化性组合物的固化物、图案形成方法、光刻法、图案及光刻用掩模。一种压印用固化性组合物，其含有：单官能聚合性化合物；多官能聚合性化合物，包含脂环结构和芳香环结构中的至少一者，且25℃下的粘度为150mPa·s以下；及光聚合引发剂，所述压印用固化性组合物中，相对于压印用固化性组合物中的所有聚合性化合物，含有5～30质量％的上述单官能聚合性化合物，上述压印用固化性组合物的固化膜的弹性模量为3.5GPa以下且玻璃化转变温度为90℃以上。