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公开(公告)号：CN219605589U
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202321039053.5
申请日：2023-05-04
Applicant: 广州禾信仪器股份有限公司
Abstract: 本实用新型涉及质谱仪设备领域，具体是一种分子泵包括：泵体、泵芯和控制盒，所述泵体的底部设有内凹结构，所述内凹结构上设有与所述内凹结构形状匹配的嵌入式的液冷装置，所述液冷装置的外露表面与所述泵体的表面匹配；所述液冷装置内设有液冷通道，所述液冷装置设有连通所述液冷通道的进液口和出液口。在泵体上设置内凹结构配合嵌入式的液冷装置有助于使分子泵的冷却更快速、散热更高效；而且结构简单、适合小型分子泵的应用，维修方便；液冷装置与分子泵的泵体嵌入为一体，使得分子泵整体的空间利用率高，结构布局更合理、更紧凑。
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