宽波段反射镜
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102112897B

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN200980129874.4

    申请日:2009-06-30

    Abstract: 本发明在于得到一种在波长400nm~2500nm的波段内具有高反射率且耐热性以及防刮性优异的宽波段反射镜。该宽波段反射镜(1)用于反射波长400nm~2500nm的波段的光,特征在于:具备使第1高折射率材料层和第1低折射率材料层交替叠层而得到的用于反射波长400nm~2500nm的波段中的靠短波长侧的波段的光的第1反射叠层膜(3)和使第2高折射率材料层和第2低折射率材料层交替叠层而得到的用于反射波长400nm~2500nm的波段中的靠长波长侧的波段的光的第2反射叠层膜(4),第1反射叠层膜(3)设置于光的入射侧,第2反射叠层膜(4)设置于能够反射从第1反射叠层膜(3)透过的光的位置,且第1高折射率材料层由选自氧化铌、氧化钛、氧化锆、氧化钽、氧化铪、氮化硅、氧化钇和铟锡氧化物中的至少一种材料形成,第1低折射率材料层由选自氧化硅和氟化镁中的至少一种材料形成,第2高折射率材料层由选自硅和锗中的至少一种材料形成,第2低折射率材料层由选自氧化硅和氟化镁中的至少一种材料形成。

    宽波段反射镜
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102112897A

    公开(公告)日:2011-06-29

    申请号:CN200980129874.4

    申请日:2009-06-30

    Abstract: 本发明在于得到一种在波长400nm~2500nm的波段内具有高反射率且耐热性以及防刮性优异的宽波段反射镜。该宽波段反射镜(1)用于反射波长400nm~2500nm的波段的光,特征在于:具备使第1高折射率材料层和第1低折射率材料层交替叠层而得到的用于反射波长400nm~2500nm的波段中的靠短波长侧的波段的光的第1反射叠层膜(3)和使第2高折射率材料层和第2低折射率材料层交替叠层而得到的用于反射波长400nm~2500nm的波段中的靠长波长侧的波段的光的第2反射叠层膜(4),第1反射叠层膜(3)设置于光的入射侧,第2反射叠层膜(4)设置于能够反射从第1反射叠层膜(3)透过的光的位置,且第1高折射率材料层由选自氧化铌、氧化钛、氧化锆、氧化钽、氧化铪、氮化硅、氧化钇和铟锡氧化物中的至少一种材料形成,第1低折射率材料层由选自氧化硅和氟化镁中的至少一种材料形成,第2高折射率材料层由选自硅和锗中的至少一种材料形成,第2低折射率材料层由选自氧化硅和氟化镁中的至少一种材料形成。

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