渗氮方法和装置
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100513628C

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200480016281.4

    申请日:2004-06-10

    CPC classification number: C23C8/36

    Abstract: 具有频率15kHz的脉冲电压从放电电源单元(48)在2.5mA/cm2的电流密度上施加到曲柄轴(12)和电极板(45)之间,以产生辉光放电,电加热器(34)在40%的输出功率(64kW/kg)上被驱动以将曲柄轴(12)加热到400℃,然后在辉光放电的电流密度设置在0.5mA/cm2、电加热器(34)的输出功率设置在90%(144kW/kg)上继续加热,由此有效地在所需的渗氮温度上渗氮。

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