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公开(公告)号：CN1186768C
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN02124745.5
申请日：2002-06-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J37/1472 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G11B7/261 , G11B9/10 , H01J37/045 , H01J37/3174 , H01J2237/31754
Abstract: 提供一种用电子束记录装置曝光穴时，形成穴的前端和后端的形状一致、均匀形状的穴的电子束记录装置。电子束记录装置具有：发射电子束的电子射线源；根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；遮蔽上述电子束的遮蔽板；载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台。电子束记录装置经遮蔽板的通过位置使上述电子束通过，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案。电压控制部控制外加到控制电极上的电压，使电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。
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公开(公告)号：CN102741924A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN200980100563.5
申请日：2009-07-27
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B7/24
CPC classification number: G11B7/24038 , G11B7/0948 , G11B7/13927 , G11B2007/0013
Abstract: 一种圆盘状的光信息记录介质(115)，具备基板(101)、在基板上所层叠的第一～第n信息层(102～104)(n为3以上的整数)、在第k信息层和第(k+1)信息层之间所设置的第k中间层(105～106)(k＝1、2、…、n-1)、在第n信息层上所设置的保护层(107)，并且，从保护层(107)表面到各个信息层(102～104)的厚度的变动幅度，相对于在距所述光信息记录介质的中心从半径为23mm至半径为24mm的范围内的所述厚度的平均值是±3μm以下。
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公开(公告)号：CN1846257A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200480025632.8
申请日：2004-09-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , Y10S430/146 , Y10T29/49769 , Y10T29/53061
Abstract: 本发明提供一种母盘制造方法，用保持曲率移动的水平移动装置来实现正确的母盘传送精度，包括：使光阻剂母盘(108)自转的工序；移动上述光阻剂母盘(108)的工序；读取与上述移动相伴的上述光阻剂母盘(108)的中心点在轨迹上的移动距离的工序；对上述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随上述移动的上述光阻剂母盘(108)的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序；以及，根据上述检测结果，控制规定的制造参数的工序。
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公开(公告)号：CN1253871C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN02141247.2
申请日：2002-06-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , G11B7/128 , G11B7/1378
Abstract: 本发明揭示一种光盘原盘曝光装置，具有激光源，用于偏转从所述激光源的激光束得到的记录激光束的偏转调制器，和用于将所述记录激光束聚焦的光盘原盘的物镜，包括设置在所述的激光源和所述偏转调制器之间的透镜系统，具有用于聚焦所述激光束的第一透镜和用于调节所述聚焦的激光束到所需光束直径的第二透镜，以及设置在所述透镜系统实际焦点位置的针孔。
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公开(公告)号：CN1667727A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：CN200510059440.5
申请日：2002-06-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , G11B7/128 , G11B7/1378
Abstract: 本发明揭示一种光盘原盘曝光装置，具有激光源，用于偏转从所述激光源的激光束得到的记录激光束的偏转调制器，和用于将所述记录激光束聚焦的光盘原盘的物镜，包括设置在所述的激光源和所述偏转调制器之间的透镜系统，具有用于聚焦所述激光束的第一透镜和用于调节所述聚焦的激光束到所需光束直径的第二透镜，以及设置在所述透镜系统实际焦点位置的针孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1458648A
公开(公告)日：2003-11-26
申请号：CN03110268.9
申请日：2003-04-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B7/26
CPC classification number: G11B7/261 , G11B7/00456 , G11B7/24038
Abstract: 涂敷化学增幅型光致抗蚀剂形成光阻层，将信息信号变换成时间对称的多脉冲信号，根据上述多脉冲信号曝光上述光阻层，加热处理，通过显像上述光阻层形成信号凹点制作光盘原盘。通过信号凹点被分别分割成多个时间对称的脉冲(104、105、106、107、108)，即通过用多脉冲信号曝光，调整曝光面积，获得所希望的凹点形状(103)。
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公开(公告)号：CN1395242A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：CN02141247.2
申请日：2002-06-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B7/261 , G11B7/128 , G11B7/1378
Abstract: 本发明揭示一种光盘原盘曝光装置，具有激光源，用于偏转从所述激光源的激光束得到的记录激光束的偏转调制器，和用于将所述记录激光束聚焦的光盘原盘的物镜，包括设置在所述的激光源和所述偏转调制器之间的透镜系统，具有用于聚焦所述激光束的第一透镜和用于调节所述聚焦的激光束到所需光束直径的第二透镜，以及设置在所述透镜系统实际焦点位置的针孔。
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公开(公告)号：CN1393860A
公开(公告)日：2003-01-29
申请号：CN02124745.5
申请日：2002-06-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01J37/1472 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G11B7/261 , G11B9/10 , H01J37/045 , H01J37/3174 , H01J2237/31754
Abstract: 提供一种用电子束记录装置曝光穴时，形成穴的前端和后端的形状一致、均匀形状的穴的电子束记录装置。电子束记录装置具有：发射电子束的电子射线源；根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；遮蔽上述电子束的遮蔽板；载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台。电子束记录装置经遮蔽板的通过位置使上述电子束通过，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案。电压控制部控制外加到控制电极上的电压，使电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。
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公开(公告)号：CN102077284B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201080001901.2
申请日：2010-04-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B7/24038 , G11B7/0037
CPC classification number: G11B7/24038 , G11B7/0037 , G11B7/08511 , G11B7/26 , G11B2007/0013 , Y10T29/49
Abstract: 本发明用于提高伺服信号及再生信号的质量。折射率为nr1、nr2、……、nrN的覆盖层及第一至第(N-1)中间层的厚度tr1、tr2、……、trN被转换为引起与厚度tr1、tr2、……、trN引起的光束的扩散量相同的扩散量的指定的折射率为no的层的厚度t1、t2、……、tN，厚度ti到厚度tj的和与厚度tk到厚度tm的和之差DFF为1μm以上(i、j、k及m是满足i≤j＜k≤m≤N的任意的自然数)，厚度t1、t2、……、tN基于下述的数式(1)所示的函数f(n)与厚度tr1、tr2、……、trN的乘积来计算，f(n)＝-1.088n3+6.1027n2-12.042n+9.1007 ……(1)其中，数式(1)中，n＝nr1、nr2、……、nrN。
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公开(公告)号：CN102930878A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210288558.5
申请日：2009-11-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G11B7/2403 , G11B7/085
CPC classification number: G11B7/24038 , G11B7/005 , G11B7/09 , G11B7/13925 , G11B2007/0013
Abstract: 本发明提供一种能够提高伺服信号及再生信号的质量的光信息装置。当将覆盖层(42)、第一中间层(43)、第二中间层(44)及第三中间层(45)的厚度tr1、tr2、tr3、tr4分别转换成指定折射率为no时的各层的厚度t1、t2、t3、t4时，在折射率为nrα及厚度为trα(1≤α≤n(α为自然数，n为4以上的整数))的层中产生的失焦量与在折射率为no及厚度为tα(1≤α≤n(α为自然数，n为4以上的整数))的层中产生的失焦量相等，厚度t1、t2、t3、t4满足|t1-(t2+t3+t4)|≥1μm、厚度t1、t2、t3、t4中的任意两值的彼此之差均为1μm以上以及|(t1+t2)-(t3+t4)|≥1μm。
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