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公开(公告)号：CN1107970A
公开(公告)日：1995-09-06
申请号：CN94119861.8
申请日：1994-12-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01L1/14
CPC classification number: G01L9/0072 , G01D5/2417 , G01P15/125 , Y10T29/43
Abstract: 把KBr等碱金属卤化物材料2熔融并充填在绝缘体板1的厚度方向上设置的贯通孔1a。在贯通孔1a内填埋的碱金属卤化物材料2及其周边的表面形成导电性薄膜4之后，用水洗方法将碱金属卤化物材料2溶解并除去，贯通孔1a与导电性薄膜4构成膜片。将由导电性薄膜4的里外压力差产生的膜片变形作为导电性薄膜4与电极层6之间的静电电容的变化检测出来。从而得到小型高灵敏度的静电电容型压力传感器。
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