基板处理装置和安装器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1981567A

    公开(公告)日:2007-06-13

    申请号:CN200580022997.X

    申请日:2005-07-01

    Abstract: 本发明涉及一种最终结合器(103),其配备有:翘曲校正单元(201),其与支撑台(203)平行设置且距离该支撑台(203)大约20mm,并且该翘曲校正单元包括用于吸附液晶板的波纹垫(202);支撑台(203),在连接半导体元件的过程中,当将压力施加到液晶板的外边缘部分时,该支撑台用于从后面支撑液晶板;和压力头(204),其通过给半导体元件施加压力和热而将半导体元件最终结合到液晶板的外边缘部分上。

    基板边缘部分清洁装置和基板边缘部分清洁方法

    公开(公告)号:CN101010151B

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN200580029641.9

    申请日:2005-08-01

    CPC classification number: B08B1/008 G02F2001/1316

    Abstract: 一种在清洁用于液晶显示器的玻璃基板的边缘部分时判断每个玻璃基板的清洁度的基板边缘部分清洁装置。基板边缘部分清洁装置100具有清洁头,该清洁头在直线移动的同时通过擦拭来清洁显示器的基板A的边缘部分,该装置包括照相机117,其通过与清洁头一起移动,拍摄放置在基板上的彩色滤光片的边缘附近的图像。照相机117获得已经清洁的基板部分的表面状态信息,并且基板边缘部分清洁装置100还包括清洁度判断单元306,其基于表面状态信息来判断清洁度。

Patent Agency Ranking