公开(公告)号：CN103659612B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201310382121.2

申请日：2013-08-28

Applicant: 株式会社不二制作所

Inventor： 间濑惠二 ,  日当正人

IPC: B24C1/00 ,  B24C5/04 ,  B24C7/00 ,  B24C11/00 ,  H01L31/18

CPC classification number: B24C1/045 ,  B24C5/04 ,  B24C7/0038 ,  Y02E10/541

Abstract: 为了提供一种允许在无需遮掩的情形下以高精度形成沟槽的通过喷砂划线的方法，使用一种喷砂机和磨料，所述喷砂机包括具有宽度为10μm到500μm且长度为该宽度5倍到5000倍的狭缝状喷射开口的喷嘴，所述磨料的中值直径等于或小于所述喷嘴的喷射开口的宽度的二分之一且其最大粒子直径比所述喷射开口的宽度小；以及，在没有遮掩的条件下以0.1mm到3.0mm的喷射距离将所述磨料连同压缩气体向工件的表面喷射以便所述磨料的喷射数量在喷射压强为0.2MPa到0.6MPa的范围内相对于1000cm3排放气体数量等于或小于0.25cm3。