公开(公告)号：CN100456508C

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200580000794.0

申请日：2005-07-29

Applicant: 株式会社东芝 ,  财团法人国际超电导产业技术研究中心

Inventor： 荒木猛司 ,  中尾公一 ,  平林泉

IPC: H01L39/24 ,  C23C18/12

CPC classification number: C23C18/1216 ,  C23C18/1254 ,  C23C18/1279 ,  C23C18/1283 ,  H01L39/2425 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明涉及制备氧化物超导薄膜的方法，该方法包括包含选自由镧、钕和钐组成组中的金属M的金属乙酸盐与具有不少于3个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸钡与具有两个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸铜与具有不少于2个碳原子的氟代羧酸反应，接着提纯反应产物；在甲醇中溶解反应产物，使金属M、钡和铜的摩尔比为1∶2∶3以制备出涂覆溶液；以及用所述涂覆溶液涂覆衬底，形成凝胶膜，接着煅烧并且烘烤凝胶膜，从而制备出氧化物超导薄膜。

公开(公告)号：CN1860622A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN200580000794.0

申请日：2005-07-29

Applicant: 株式会社东芝 ,  财团法人国际超电导产业技术研究中心

Inventor： 荒木猛司 ,  中尾公一 ,  平林泉

IPC: H01L39/24 ,  C23C18/12

CPC classification number: C23C18/1216 ,  C23C18/1254 ,  C23C18/1279 ,  C23C18/1283 ,  H01L39/2425 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明涉及制备氧化物超导薄膜的方法，该方法包括包含选自由镧、钕和钐组成组中的金属M的金属乙酸盐与具有不少于3个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸钡与具有两个碳原子的氟代羧酸反应，乙酸铜与具有不少于2个碳原子的氟代羧酸反应，接着提纯反应产物；在甲醇中溶解反应产物，使金属M、钡和铜的摩尔比为1∶2∶3以制备出涂覆溶液；以及用所述涂覆溶液涂覆衬底，形成凝胶膜，接着煅烧并且烘烤凝胶膜，从而制备出氧化物超导薄膜。