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公开(公告)号：CN110192054A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201780083256.5
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/44 , F16K1/32 , H01L21/3065
Abstract: 提供一种阀及半导体制造装置，其即使在高温下使用也不会产生烧熔等而能够长时间使用，并且不会污染腔室内。阀(1)具备：增力机构(30)，其增大驱动力；第一阀杆(25)及第二阀杆(26)，其承受增力机构(30)增大的力进行移动；以及隔膜(11)，其能够对流体通路(2b、2c)进行开关。增力机构(30)具备：保持器(31)及轴承(32)；轴(33)，其两端支撑于轴承(32)；以及臂(34)，其被轴(33)支撑成能够摆动，并具有承受驱动力的外端部(34C)和增大驱动力并向第一阀杆(25)传递的内端部(34B)，在保持器(31)、轴承(32)、轴(33)以及臂(34)中，构成利用臂(34)的摆动而产生的滑动部的轴(33)的两端部和轴承(32)之中，轴承(32)由碳纤维复合材料构成。
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公开(公告)号：CN106471300B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201580033388.8
申请日：2015-12-14
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K35/00 , F16K31/122
Abstract: 本发明提供一种流体控制器，其能够防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。阀杆上下移动量调整单元(11)具备：在内周设置有内螺纹(41b)并以可旋转的方式支承于壳体(4)的手柄(41)、在外周设置有外螺纹(46b)并与手柄(41)的内周螺合的移动体(42)、防止移动体(42)相对于壳体(4)旋转且可以向上下方向移动的导向单元(43)。
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公开(公告)号：CN105452742B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201480034078.3
申请日：2014-08-08
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K51/02 , F16K15/063 , F16K15/186 , F16K31/1221 , F16K31/1226 , G05D16/0619 , G05D16/18 , Y10T137/7877 , Y10T137/7878
Abstract: 真空阀(1)具有：设定当连通被开放时的1次侧通路的流体压力的设定值的开放压力设定机构(6)；和与1次侧通路的流体压力无关地将连通强制开放的强制开放机构(7)。开放压力设定机构(6)具有：固定于阀杆(5)的弹簧支承件(17)；下端支承于弹簧支承件(17)的压缩螺旋弹簧(18)；和推动压缩螺旋弹簧(18)的上端并其能够沿轴向移动的调整螺丝(19)。强制开放机构(7)具有：在弹簧支承件(17)的下方能够上下移动地与阀杆(5)嵌合的活塞(21)；和通过压缩空气使活塞(21)向上方移动而使活塞(21)与弹簧支承件(17)一体地向上方移动的活塞驱动机构(22)。
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