公开(公告)号：CN1460839A

公开(公告)日：2003-12-10

申请号：CN03125149.8

申请日：2003-05-12

Applicant: 株式会社山武

Inventor： 关宏治 ,  图师信彦 ,  池信一 ,  中野正志 ,  中田太郎 ,  上运天昭司

IPC: G01F1/68 ,  G01P5/10

Abstract: 一种流量传感器，包括基底、电绝缘膜和流动速度检测装置。具有与测量目标流体接触的第一表面的薄的部分的基底，和围绕薄的部分的厚的固定部分整体形成。电绝缘膜在薄的部分的第二表面形成，这在第一表面相反一面；流动速度检测装置(112，125)置于电绝缘膜(113，117)上。流动速度检测装置位于电绝缘膜。也描述了流量传感器的制造方法。

公开(公告)号：CN300903786D

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200830005342.8

申请日：2008-02-03

Applicant: 株式会社山武

Designer： 池信一

Abstract: 后视图与主视图对称，故省略后视图；左视图与右视图