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公开(公告)号：CN1301954A
公开(公告)日：2001-07-04
申请号：CN00137757.4
申请日：2000-12-28
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01J9/00
Abstract: 一种波前传感器包括多个透镜和一个面传感器。诸透镜位于同一平面上,并都包括多个焦距不同的同心区。面传感器用于接收经每个透镜会聚成光点的一束光,并且基本上位于第一位置和第二位置之间的一半距离,其中第一位置是平面波穿过同心区中焦距最小区域后成像的位置,第二位置是平面波穿过焦距最大区域后成像的位置。利用此波前传感器,无论入射光束的波前形状如何,总能高精度测量,并没有明显的模糊光点。
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