公开(公告)号：CN105579939A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201480052590.0

申请日：2014-09-22

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 后藤裕史 ,  越智元隆 ,  志田阳子 ,  奥野博行

IPC: G06F3/041 ,  B32B9/00 ,  H01B5/14

CPC classification number: G06F3/044 ,  B32B15/20 ,  B32B2307/412 ,  B32B2457/00 ,  B32B2457/202 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/165 ,  G02F1/13338 ,  G02F1/13439 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明的电极具有从透明基板的相反侧(表面侧)开始依次为由透明导电膜构成的第1层、由Mo的氮化物或Mo合金的氮化物中的至少一种构成的第2层、以及由反射率为40％以上、透射率为10％以下的金属膜构成的第3层的层叠结构。