一种扫描电子束机器载台

    公开(公告)号:CN214322162U

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202120139758.9

    申请日:2021-01-19

    Abstract: 本实用新型涉及一种扫描电子束机器载台,包括基板、摆动机构、载板和移动机构;所述基板通过摆动件可上下摆动的安装在工作台上;所述摆动机构安装在工作台上且对应所述基板下方的位置,其连接并驱动所述基板上下摆动;所述载板处于所述基板的上方且用于放置工件,所述移动机构固定在所述基板上,并且所述移动机构连接并驱动所述载板相对所述基板水平移动。该载台的有益效果是:(1)结构新颖,设计合理,安装简单;(2)实现载板上下摆动一定角度,进而实现工件和扫描头成可变角度,扫描带斜面的工件;(3)实现载板在水平面内任意移动,配合电子束扫描头的移动,采用与载板同相移动和相向移动来扩大扫描头相对工件的移动速度的调节范围。

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