电光装置和电子设备
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115079475A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210241969.2

    申请日:2022-03-11

    Abstract: 电光装置和电子设备。实现如下的电光装置和电子设备:在利用在彼此交叉的方向上延伸的槽来增大电容元件的静电电容的情况下也够容易地填埋由于槽而引起的凹部。在电光装置的基板主体(19)形成有第1槽(191)和在与第1槽(191)交叉的方向上延伸的第2槽(192、193)。电容元件(55)由层叠膜(550)构成,层叠膜(550)包含在包含第1槽(191)和第2槽(192、193)的区域中依次层叠的第1导电膜(4a)、电介质膜和第2导电膜(5a)。在第1槽(191)和第2槽(192、193)交叉时,在蚀刻时,交叉部的宽度较宽,但在第1槽(191)和第2槽(192、193)分离等不交叉的情况下,不易产生宽度较宽的部分。因此,容易通过第1绝缘膜(41)填埋槽。

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