公开(公告)号：CN104220638B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201280061213.4

申请日：2012-10-12

Applicant: 1366科技公司

Inventor： G.M.丹纳 ,  H.G.加特斯 ,  V.S.塔拉索夫 ,  P.E.凯恩 ,  P.G.梅登 ,  E.M.萨赫斯

IPC: C23C18/14

CPC classification number: B05B5/001 ,  B05B5/005 ,  B05B5/087 ,  B05B7/0012 ,  B05B12/16 ,  B05B13/02 ,  B05D1/04 ,  B05D1/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明涉及薄聚合物膜在衬底上的形成。描述了一种设备，该设备用于将固体聚合物抗蚀剂转化为小颗粒的气溶胶，使颗粒带静电并将其沉积在衬底上，并且使颗粒流动为连续的层。还描述了一种设备，该设备用于通过加热抗蚀剂以形成例如适合雾化的低粘度液体并且应用射流或冲击雾化以及气溶胶颗粒定径的技术来形成气溶胶，从而将固体聚合物抗蚀剂转化为小颗粒的气溶胶。还描述了使用电离气体在气溶胶颗粒上赋予电荷以及使用一系列充电装置建立将带电颗粒流导向至衬底的电场的方法。该系列充电装置和相关联的设备导致气溶胶颗粒的高收集效率。