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发明公开
压印用固化性组合物、复制模具及其制造方法有权

公开(公告)号：CN110462786A

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201880020273.9

申请日：2018-03-15

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 高木圭介 , 樱田智明

IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/02 , C08F2/48 , C08F220/18 , C08F220/24

Abstract: 提供：一种压印用固化性组合物、使用了压印用固化性组合物的压印用复制模具、其制造方法、以及使用了该复制模具的、表面具有微细图案的物品的制造方法，所述压印用固化性组合物可以形成与模具基材的密合性、以及使用压印法时与被转印材料的固化物的脱模性优异的复制模具的固化物层。使用如下的压印用固化性组合物：其包含含氟聚合物和光产酸剂，所述含氟聚合物具有基于CH2＝C(R1)C(O)OR2Rf(R1：氢原子、甲基等，R2：不具有氟原子的2价连接基团，Rf：碳原子数为2～6的氟烷基等)的结构单元(a)及含有具有氧原子的阳离子聚合性反应基团的结构单元(b)，含氟聚合物的比率在压印用固化性组合物100质量％中为11～89质量％。

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