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公开(公告)号:CN100439873C
公开(公告)日:2008-12-03
申请号:CN200610121277.5
申请日:2006-08-25
Applicant: SMC株式会社
IPC: G01F15/00
Abstract: 在包含流速传感器(24)的流动通道(12)的上游侧布置有整流模块(60)。所述整流模块(60)包括网元件(64)和环形隔离物(66),每个所述网元件都具有多个圆形小孔(62),其中所述网元件(64)和隔离物(66)沿轴向方向交替堆叠并且通过热扩散结合彼此整体地连接。所述网元件(64)具有相同的结构,其中多个小孔(62a-62f)围绕基准小孔(62x)的中心沿圆周方向以60度的隔开角度同心布置。所述小孔(62a-62f)在网元件(64)的整个表面上与邻接的其它小孔(62)一起连续形成。一个网元件(64a)和沿轴向方向与其邻接的另一个网元件(64b)的小孔(62a-62f)布置成沿圆周方向具有90度的相角差。
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