公开(公告)号：CN105849862A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201480071050.7

申请日：2014-12-17

Applicant: DIC株式会社

Inventor： 伊部武史 ,  矢田真

IPC: H01L21/027 ,  C08F12/34 ,  C08F257/00 ,  C08K5/00 ,  C08L25/02 ,  C08L101/02 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C08F12/36 ,  B29C59/026 ,  B81C2201/0153 ,  C08F12/32 ,  C08F12/34 ,  C08F257/00 ,  C08K5/00 ,  C08L101/02 ,  C09D125/16 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/31144

Abstract: 本发明提供一种干式蚀刻抗蚀剂用固化性树脂组合物，其特征在于，所述干式蚀刻抗蚀剂用固化性树脂组合物含有聚合物(A)，所述聚合物(A)在侧链具有包含连接有乙烯基的芳香族基团的特定结构，该聚合物(A)中的特定结构在聚合物(A)中占80～100重量％。还提供一种干式蚀刻用抗蚀掩模，其特征在于，其是使该干式蚀刻抗蚀剂用固化性组合物固化而成的，以及提供一种干式蚀刻用抗蚀掩模，其具有由纳米压印法得到的图案。