薄膜晶体管阵列
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105051908A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201480017046.2

    申请日:2014-03-07

    Inventor: 石崎守

    CPC classification number: H01L27/1222 H01L27/124 H01L29/0847 H01L29/41733

    Abstract: 本发明提供栅极-源极间容量或源极-像素间容量小、不易劣化且缺陷少的薄膜晶体管阵列。本发明的薄膜晶体管阵列在绝缘基板上具有栅电极、栅极配线、电容器电极、电容器配线、栅绝缘膜、以及在俯视下在与栅电极重叠的区域内具有彼此的间隙的源电极及漏电极,至少在所述间隙中具有半导体图案,所述薄膜晶体管阵列具有源极配线、连接于漏电极并在俯视下与电容器电极重叠的像素电极和覆盖在半导体图案上的保护层,其中,在俯视下,漏电极为1根等宽的线状,源电极是线状且是距离漏电极隔着一定间隔将漏电极包围的护套形状,源极配线按照将多个源电极间连接的方式形成并且比下述区域的宽度细,所述区域是将半导体图案中位于所述间隙的部分沿着垂直于栅极配线延伸方向的方向延长的区域。

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