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公开(公告)号：CN101975983B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010279318.X
申请日：2010-09-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种高分辨率非球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明的高分辨率非球面光刻物镜包括前透镜组、后透镜组，数值孔径为0.75，共使用29片透镜，其中有3个表面使用了10次非球面；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中氟化钙的作用为校正色差。本发明进一步提高了现有投影光刻物镜的分辨力，使用少量的低阶非球面大幅提高了成像质量，各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中发生改变以配合非球面更好的校正像差。以中心光线为参考时单色均方根波像差小于1nm，畸变小于0.7nm。
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公开(公告)号：CN101950065B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010278088.5
申请日：2010-09-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种深紫外全球面光刻物镜，属于高分辨力投影光刻物镜技术领域。本发明提出了一种照明系统工作波长为193nm，数值孔径达到0.75的深紫外光刻物镜，该物镜结构紧凑、大视场、成像质量优良，各镜片全部使用球面，降低了加工难度；包括前后透镜组，共使用29片全球面透镜；透镜材料使用熔石英和氟化钙，其中，氟化钙的作用为校正色差。系统双方远心，具有极高的远心度。各个透镜元件的半径、厚度间距在优化中进行改变以更好的补偿像差并得到良好的结构参数，最终像质畸变小于1nm，波像差小于3nm。本发明可以应用于照明光源波长为193nm的深紫外投影光刻装置中。
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公开(公告)号：CN116793492A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310614808.8
申请日：2023-05-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的具有二维色散的太阳极紫外三级次无狭缝成像光谱仪，属于太阳极紫外观测领域。本发明包括第一面孔径光阑、第二面孔径光阑、第三面孔径光阑、第四面主反射镜、第五面主反射镜、第六面主反射镜、第七件视场光阑件、第八面光栅次镜、第九面反射次镜、第十面光栅次镜、第十一片探测器、第十二片探测器、第十三片探测器。本发明采用三个衍射级次的无狭缝光谱成像结构，通过光谱数据反演算法能够从三个级次图像中提取到高分辨率光谱信息，实现大离轴视场下的光栅像差校正，各级次子系统均获得良好的空间和光谱成像性能，实现极紫外窄波段高空间分辨和高光谱分辨同时成像观测。本发明具有系统结构紧凑、适合卫星遥感平台的应用的优点。
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公开(公告)号：CN115793219A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211249579.6
申请日：2022-10-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种近地轨道米级地面分辨率的折反式可见光空间遥感相机，属于可见光对地遥感观测领域。本发明为工作在0.45μm～0.75μm波段下的高分辨率空间遥感相机，包括同轴排布的第一面主反射镜、第二面次反射镜、第三片透镜、第四片透镜、第五片透镜、第六片透镜、第七片透镜、第八面聚焦成像面。本发明能够获得大观景幅宽下地面像元分辨率图像，前置R‑C两反系统的主镜和次镜均为旋转双曲面型，能够对系统球差和彗差的校正；后置五片式球面透镜组通过镜片的光焦度分配实现色差、离轴像散的校正，且利用具有不同折射率系数的五种光学材料实现对热像差校正。本发明具有空间分辨率高、覆盖面积宽、温度工作范围宽、色差小和热离焦小的优点。
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公开(公告)号：CN115524836A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211249618.2
申请日：2022-10-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的同步轨道中波红外折反式被动无热化高分辨率遥感相机，属于红外对地遥感观测领域。本发明为地球同步轨道中波红外折反式被动无热化高分辨率空间遥感相机，包括卡塞格林双反系统、后置六片式球面透镜组、视场光阑件、光路折叠镜、冷光阑、探测器。本发明能够获得大单景幅宽下地面像元分辨率空间遥感相机图像，同时通过分配红外光学系统中各透镜的正负光焦度来实现对系统热离焦的补偿，实现被动无热化成像，并兼顾对红外光学系统中色差的校正；采用被动无热化成像使得系统结构简单，不需要复杂的运动部件即可实现宽温度范围内的热像差校正。本发明具有空间分辨率高、覆盖面积宽、全天时工作、温度工作范围宽和色差小的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108594410B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201810329900.9
申请日：2018-04-13
Applicant: 北京理工大学
IPC: G02B15/163
Abstract: 本发明涉及一种半球空间远红外六倍连续变焦光学系统，属于航天远红外探测领域。本发明能够实现在大视场短焦距情况下搜索目标和小视场长焦距情况下识别目标的军事目的。该系统分别由在同一光轴上的前固定组、变倍组、补偿组和后固定组共九片红外透镜构成，该系统工作波段为8μm～12μm；连续变焦范围为：150mm～900mm；F数为1.3～3.0；探测器规模为：1k×1k；系统单像元尺寸为：30μm×30μm。可在半球空间，周视角度达到360°的范围内对目标进行探测与识别。系统成像质量良好，结构紧凑，在奈奎斯特频率为11lp/mm时MTF值均大于0.4，系统总长小于835mm。
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公开(公告)号：CN102590989B
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201210099577.3
申请日：2012-04-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于系统Zernike波像差分析与光刻过程对于Zernike系数敏感性的光刻物镜非球面位置选择方法，属于非球面光学设计技术领域。本方法首先确定初始系统结构中各元件位置与视场和孔径的关系，分析各类像差对于孔径与视场的依赖关系，得到各元件位置对于不同像差的校正敏感度；然后根据波像差分析结果确定主导像差；再根据光刻仿真结果确定Zernike波像差各分项像差敏感度；得到添加非球面位置范围，并进行试探性优化；最后选取使像质改善较大的非球面位置作为最终位置并进行深度优化，得到像质优良的最终非球面位置。根据所述方法得到的非球面投影光刻物镜的数值孔径为0.75，工作波长为193纳米，波像差小于0.5纳米。
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公开(公告)号：CN102590989A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210099577.3
申请日：2012-04-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于系统Zernike波像差分析与光刻过程对于Zernike系数敏感性的光刻物镜非球面位置选择方法，属于非球面光学设计技术领域。本方法首先确定初始系统结构中各元件位置与视场和孔径的关系，分析各类像差对于孔径与视场的依赖关系，得到各元件位置对于不同像差的校正敏感度；然后根据波像差分析结果确定主导像差；再根据光刻仿真结果确定Zernike波像差各分项像差敏感度；得到添加非球面位置范围，并进行试探性优化；最后选取使像质改善较大的非球面位置作为最终位置并进行深度优化，得到像质优良的最终非球面位置。根据所述方法得到的非球面投影光刻物镜的数值孔径为0.75，工作波长为193纳米，波像差小于0.5纳米。
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公开(公告)号：CN118936631A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410278847.X
申请日：2024-03-12
Applicant: 北京理工大学 , 北京卫星环境工程研究所
Abstract: 本发明公开的一种太阳极紫外日冕双波段高分辨率成像光谱仪，属于太阳极紫外观测领域。本发明为观测太阳日冕活动的工作在17nm～21nm和28nm～32nm波段下的狭缝扫描式高分辨率成像光谱仪。本发明包括第一片孔径光阑、第二片滤光片、第三片主反射镜、第四片狭缝件、第五片光栅次镜、第六片探测器、第七片探测器。本发明采用的光栅基于非罗兰圆结构，采用前置离轴凹面反射镜和凹面反射光栅结合的狭缝扫描式光谱成像结构，凹面反射光栅同时实现聚焦、衍射分光和像差校正的功能，能够获得大离轴狭缝视场下的高空间、光谱分辨的太阳日冕活动图像。本发明具有大离轴狭缝视场、空间分辨率高、光谱分辨率高、像散小、体积小的优点。
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公开(公告)号：CN117148379A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311120016.1
申请日：2023-09-01
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01S17/894 , G01S7/481 , G01S7/48 , G01S17/08
Abstract: 本发明公开了一种变分辨率MEMS镜扫描探测鬼成像的系统及方法，包括：激光发射模块、光束偏转模块、鬼成像模块和回波接收模块；所述激光发射模块，用于发射光束；所述光束偏转模块，用于对所述光束进行偏转以扫描目标；所述鬼成像模块，用于在初次扫描时对回波光束进行偏转，在进行鬼成像时对回波光进行掩膜调制；所述回波接收模块，用于接收所述鬼成像模块反射回的光束。本发明将传统激光雷达系统与鬼成像系统结合，可以实现对周围环境的探测和三维感知，进而确定感兴趣目标，对其进行鬼成像，实现高分辨率的三维重建，这样达到了变分辨率的目的，大大提高了系统成像效率。
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